氮化硅毛坯球的熱等靜壓法成型工藝

氮化硅毛坯球的熱等靜壓法成型工藝

------文章來源：湖州源沁新材料有限公司技術(shù)部

與大多數(shù)陶瓷制品一樣，氮化硅球也用粉末制造。目前常用的氮化硅毛坯球制造工藝有：反應燒結(jié)、熱壓燒結(jié)、熱等靜壓燒結(jié)等。

在軸承零件生產(chǎn)中，熱等靜壓法目前被認為是制造氮化硅毛坯球最佳工藝，因為該工藝直接適用于密封預成形或燒結(jié)生產(chǎn)方法的一部分，能生產(chǎn)出致密度接近100%的材料。

熱等靜壓法工藝流程簡述：

熱等靜壓法是在250MPa的壓力和750℃的溫度下，在氬氣保護氣氛中，將氮化硅材料熱壓2h，制成試樣球。再用玻璃粉末噴射球坯，形成一個多孔的殼體，然后將其置于一個真空的專用爐中加熱，從材料中除去被束縛住的空氣，并使玻璃熔化，控制冷卻后，玻璃層變成了密封層。熱壓階段完成后，減小壓力，促使玻璃從球中清除出來。

?氮化硅毛坯球的制造技術(shù)對氮化硅陶瓷球的后續(xù)加工過程影響很大，毛坯球的尺寸公差及表面質(zhì)量將決定著陶瓷球最終質(zhì)量及后期加工成本。

參考資料：

軸承用氮化硅球的制造方法，哈爾濱軸承集團，孫立鈞；中航工業(yè)哈爾濱軸承，張桂燕著。