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真空腔體常用的清洗方法

1、超聲波清洗

超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的.

2、電解侵蝕清洗

電解侵蝕清洗類似于電解拋光,是指在溶劑中利用電解作用,清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物,主要用于化學(xué)穩(wěn)定性較高的合金部件,如不銹鋼,耐熱鋼等.

3、蒸汽脫脂清洗

蒸氣脫脂指被粘物表面用餐劑的蒸氣不斷清洗以達(dá)到脫脂的目的,適用于表面類脂膜和油脂膜的清洗,操作方法簡單,可以實現(xiàn)大批量清洗.一些帶有牢固附著物或污染較為嚴(yán)重的基片在擦洗或超聲波清洗后,用蒸汽脫脂清洗可以實現(xiàn)很好的清洗效果.

1、放電清洗

放電清洗一般用于高真空、超高真空腔體清洗中.放電清洗的效果取決于電機(jī)材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系.利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?

2、氮氣清洗

氮氣清洗主要是利用了氮氣在材料表面的吸附熱小、吸留時間短,容易被抽走的特性,用氮氣沖洗被污染的真空系統(tǒng),同時擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間,縮短真空系統(tǒng)的抽氣時間.

真空腔體

真空技術(shù)主要包括真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應(yīng)用四個方面.在真空技術(shù)發(fā)展中,這四個方面的技術(shù)是相互促進(jìn)的.

隨著真空獲得技術(shù)的發(fā)展,真空應(yīng)用日漸擴(kuò)大到工業(yè)和科學(xué)研究的各個方面.真空應(yīng)用是指利用稀薄氣體的物理環(huán)境完成某些特定任務(wù).有些是利用這種環(huán)境制造產(chǎn)品或設(shè)備,如燈泡、電子管和等. 這些產(chǎn)品在使用期間始終保持真空,而另一些則只是把真空當(dāng)作生產(chǎn)中的一個步驟,產(chǎn)品在大氣環(huán)境下使用,如真空鍍膜、真空干燥和真空浸漬等.

真空的應(yīng)用范圍極廣,主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空應(yīng)用.

影響真空絕緣水平的主要因素

真空度

顯現(xiàn)了空隙擊穿電壓和氣體壓強(qiáng)之間的關(guān)系。由圖可以看到真空度高于10-2Pa時，擊穿電壓基本上不再跟著氣體壓力的下降而增大，因為氣體分子碰撞游離現(xiàn)象已不復(fù)興效果。一些帶有牢固附著物或污染較為嚴(yán)重的基片在擦洗或超聲波清洗后,用蒸汽脫脂清洗可以實現(xiàn)很好的清洗效果。當(dāng)氣體壓力從10-2Pa逐步升高時(真空度下降)，擊穿強(qiáng)度逐步下降，以后又隨氣壓的而。從曲線上可以看出真空度高于10-2Pa時其耐壓強(qiáng)度基本上堅持不變。這就標(biāo)明，真空滅弧室的真空度在10-2Pa以上時完全可以滿足正常的運用需求。