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              發布時間:2021-01-01 16:58  

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              吹掃完畢后,用高純氮氣進行檢漏保壓測試,測試壓力應為工作壓力的1.2-1.5倍。整個施工過程中,應注意施工安全,特別是空中作業時(在梯子或腳手架上施工),應有專人固定梯子或腳手架。在土建尚未完工的工地施工時,須佩帶安全帽,穿安全鞋。實驗室氣路改造設計要考慮到原有的通風系統老化和破損嚴重。



              表面粗糙度和耐磨性

              為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內表面有一個極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速沖刷下,產生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。

              抗腐蝕性

              微電子生產中,經常使用一些腐蝕性很強的氣體,這時必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會發生危險事故。



              出氣速率

              材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內部存在著某些雜質,如氮、碳氫化合物等,在高純氣體輸送過程中,這些雜質會緩慢地釋放出來,污染高純氣體,尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。





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