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發布時間:2021-01-13 13:13  
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磁控濺射介紹
以下內容由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供,今天我們來分享磁控濺射產品的相關內容,希望對同行業的朋友有所幫助!
用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點火和濺射很方便。隨著碰撞次數的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠離靶表面,并在電場E的作用下沉積在基片上。這是因為靶(陰極),等離子體和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體(如陶瓷),則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強的電容,這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時接地技術很復雜,因而難大規模采用。為解決此問題,發明了磁控反應濺射。就是用金屬靶,加入氣和反應氣體如氮氣或氧氣。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉化,與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。
磁控濺射鍍膜設備的主要用途
沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業磁控濺射產品供應商,我們為您帶來以下信息。
1.各種功能性的薄膜鍍膜。所鍍的膜一般能夠吸收、透射、反射、折射、偏光等效果。
2.時裝裝飾領域的應用,比如說各種全反射鍍膜以及半透明鍍膜,可適用在手機外殼、鼠標等產品上。
3.微電子行業領域中,其是一種非熱式鍍膜技術,主要應用在化學氣象沉積上。
4.在光學領域中用途巨大,比如說光學薄膜(如增透膜)、低輻射玻 璃和透明導電玻璃等方面得到應用。
5.在機械行業加工中,其表面功能膜、超硬膜等等。其作用能夠提供物品表面硬度從而提高化學穩定性能,能夠延長物品使用周期。