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發布時間：2020-08-27 17:43
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濕度控制是無塵車間生產必需具備的重要條件
濕度控制是無塵車間生產必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。 近年，在這些規定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對濕度有一系列可能使潔凈室總體表現下降的因素，其中包括： 1、細菌生長; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。
空調制冷迅速,節能顯著通常,潔凈室的溫度調節都是由中央空調將
空調制冷迅速,節能顯著 通常,潔凈室的溫度調節都是由中央空調將空氣冷卻后再送到潔凈室。種方法需要大量風管進行長距離送風，沿途阻力式損失和溫度損失造成很大的能源損耗。此外，也有將空調機裝在專用回風直管內，再由風機和風管將空氣送到送風口的方法，這種方法雖然省去了中央空調，便是仍然需要專用的風機和風管，結構復雜，成本高，占用有限的空間，不便于維修和操作空調機，風機和風管所造成的能源損失也較大。本方案采用冷風管直接送風的方式，將空調機產生的冷風直接送到潔凈空氣主流區，冷風的行程和，冷風量集中，不須專用管閥件，節約了投資，安裝也更簡單。更重要的是減少了這些管閥件的阻力損失和溫度損失，達到提節約能源的目的。
潔凈室的分類按用途分類
潔凈室的分類 按用途分類 按用途可分為兩大類： （1）工業潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。主要控制無生命微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓。它適用于精密工業、電子工業、宇航工業、原子能工業、印刷工業、照相工業等部門。 （2）生物潔凈室--以有生命的微粒為控制對象，又可分為： ①一般生物潔凈室。主要控制有生命微粒對工作對象的污染。同時內部材料要經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保持正壓?？捎糜谥扑幑I、食品工業、設施、實驗設施等。 ②生物安全潔凈室。主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染，內部需保持負壓。用于實驗設施、生物工程、設施等。 按氣流分類 按氣流可分為四類： ⑴單向流潔凈室 ⑵非單向流潔凈室（亂流潔凈室） ⑶矢角流潔凈室 ⑷混合流潔凈室（局部單向流潔凈室）
