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發(fā)布時間:2021-04-10 09:15  
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湖北豐熱科技有限公司(原武漢離子熱處理研究所),專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術企業(yè);是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐,并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術服務。
離子滲氮是在低真空含氮氣氛中,利用模具(陰極)和陽極之間產(chǎn)生的輝光放電進行滲氮的工藝,與氣體滲氮相比工作環(huán)境好。電容耦合穿過絕緣材料或空間,電極就不再限于導電材料,可以濺射任何材料,因此射頻輝光放電廣泛用于絕緣或介質材料的濺射沉積鍍膜。由于離子氮化法不是依靠化學反應作用,而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理,所以工作環(huán)境十分清潔而無需防止公害的特別沒備。因而,離子氮化法也被稱作“綠色”氮化法。
輝光離子氮化是指利用輝光放電現(xiàn)象使工件表面滲入氮原子的熱處理方法。采用的輝光離子氮化爐,以工件為陰極,爐體為陽極,當爐內(nèi)真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨氣,使真空室內(nèi)壓力約為66.65~1333.2Pa。
用于磁控濺射鍍膜氣體放電的交流電源主要有雙極性脈沖(矩形波或正弦波)中頻靶電源與射頻靶電源兩大類別。?雙極脈沖中頻靶電源用于輝光放電?。矩形波或正弦波中頻靶電源進行1氣體輝光放電有很多共同特點
在放電開始前間隙中必須存在大量的種子電子,而長壽命的亞穩(wěn)態(tài)及其彭寧電離可以提供這些種子電子。根據(jù)10ns暴光的ICCD拍攝的放電圖像,Radu小組發(fā)現(xiàn),在大氣壓惰性氣體He、Ne、Ar、Krypton的DBD間隙中,可以實現(xiàn)輝光放電。