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發布時間:2021-08-26 06:16  
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真空泵冷卻水流不夠。應加大冷卻水流量。
裝配不當,使轉子軸心位移,造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。
因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙,投規定的精度要求進行修復或更換。
真空泵運轉中摩擦發熱,溫升太高,使真空泵油變稀,密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫,同時,檢查有關部件配合間隙并按規定精度要求進行修理或更換。

真空泵油的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶液造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。