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              BUSCH真空泵油銷售價歡迎咨詢「在線咨詢」

              發布時間:2021-08-26 06:16  

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              真空泵冷卻水流不夠。應加大冷卻水流量。

              裝配不當,使轉子軸心位移,造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。

              因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙,投規定的精度要求進行修復或更換。

              真空泵運轉中摩擦發熱,溫升太高,使真空泵油變稀,密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫,同時,檢查有關部件配合間隙并按規定精度要求進行修理或更換。


              光照法。在天氣晴朗的日子,用工具將潤滑油撩起,與水平面成45°角。對照陽光,觀察油滴情況,在光照下,可清晰地看到真空泵油潤滑油中無磨削為良好,可繼續作用,若磨削過多,應更換潤滑油。油滴痕跡法。取一張干凈的白色慮試紙,滴油數滴在濾試紙上,待潤滑油滲漏后,若表面有黑色粉末,用手觸摸有阻塞感,則說明潤滑油里面雜質已很多,好的潤滑油無粉末,用手摸上去干而光滑,且呈黃色痕跡。


              真空泵油的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:

              1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

              2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

              3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;

              4)在化學工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶液造成污染,適合用干式真空泵;

              5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。



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