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半導體氣體傳感器成本低廉

半導體氣體傳感器原理：在一定溫度下，電導率隨著環境氣體成份的變化而變化的原理制造的。比如，酒精檢測儀利用二在高溫下遇到酒精氣體時，電阻會急劇減小的原理制備的。 半導體氣體傳感器應用：半導體式氣體傳感器可以有效地用于：、、丙烷、丁烷、酒精、甲醛、、二氧化碳、乙烯、、、、等很多氣體地檢測。尤其是，這種傳感器成本低廉，適宜于民用氣體檢測的需求。

集成化、多功能化、智能化傳感器

集成化、多功能化、智能化 傳感器集成化包括兩種定義，一是同一功能的多元件并列化，即將同一類型的單個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來，排成1維的為線性傳感器，CCD圖象傳感器就屬于這種情況。集成化的另一個定義是多功能一體化，即將傳感器與放大、運算以及溫度補償等環節一體化，組裝成一個器件。 隨著集成化技術的發展，各類混合集成和單片集成式壓力傳感器相繼出現，有的已經成為商品。集成化壓力傳感器有壓阻式、電容式、等類型，其中壓阻式集成化傳感器發展快、應用廣。 傳感器的多功能化也是其發展方向之一。所謂多功能化的典型實例，美國某大學傳感器研究發展中心研制的單片硅多維力傳感器可以同時測量3個線速度、3個離心加速度(角速度)和3個角加速度。主要元件是由4個正確設計安裝在一個基板上的懸臂梁組成的單片硅結構，9個正確布置在各個懸臂梁上的壓阻敏感元件。多功能化不僅可以降低生產成本，減小體積，而且可以有效的提高傳感器的穩定性、可靠性等性能指標。 把多個功能不同的傳感元件集成在一起，除可同時進行多種參數的測量外，還可對這些參數的測量結果進行綜合處理和評價，可反映出被測系統的整體狀態。由上還可以看出，集成化對固態傳感器帶來了許多新的機會，同時它也是多功能化的基礎。 傳感器與微處理機相結合，使之不僅具有檢測功能，還具有信息處理、邏輯判斷、自診斷、以及“思維”等人工智能，就稱之為傳感器的智能化。借助于半導體集成化技術把傳感器部分與信號預處理電路、輸入輸出接口、微處理器等制作在同一塊芯片上，即成為大規模集成智能傳感器。可以說智能傳感器是傳感器技術與大規模集成電路技術相結合的產物，它的實現將取決于傳感技術與半導體集成化工藝水平的提高與發展。這類傳感器具有多能、、體積小、適宜大批量生產和使用方便等優點，可以肯定地說，是傳感器重要的方向之一。

納米級電容位移傳感器的原理

納米級電容位移傳感器 電容位移傳感器的原理是利用力學變化使電容器中其中的一個參數發生變化的方法實現信號的變化的。電容位移傳感器由目標和探針兩個傳感板組成電容器。當電容器之間的距離發生改變時，電容器的電容量就會發生改變，使用適當的控制器就會測出兩個傳感板距離的變化。 納米級電容位移傳感器是非接觸式位置測量系統。該系統由目標和探針兩個傳感板組成電容器。當電容器之間的距離發生改變時，電容器的電容量就會發生改變，使用適當的控制器就會測出兩個傳感板距離的變化。電容位移傳感器擁有極高的靈敏度分辨率可由于0.1nm，頻帶寬可達到10KHz，直線性可到達0.02%。由于傳感器是一種非接觸式的精密測量系統，因此還擁有無摩擦，無遲滯等特點。

電渦流傳感器測量電路和特性

電渦流傳感器測量電路和特性 電渦流傳感器的諧振調幅電路如圖2（a）所示。這種方法是將傳感器線圈的等效電感的變化轉換為電壓變化。傳感器線圈與電容并聯組成LC并聯諧振回路。晶體振蕩器產生一個頻率及幅值穩定的高頻信號來激勵諧振回路。LC回路的輸出電壓為： u=i0F(Z) 式中i0為高頻激勵電流，Z為LC回路的阻抗。可以看出，LC回路的阻抗Z越大，回路的輸出電壓越大。 當改變金屬導體與傳感器線圈之間的距離x時，引起傳感器線圈等效電感L發生變化，即回路的等效阻抗Z變化，從而使諧振回路輸出電壓u變化。諧振回路的輸出電壓u就成為距離x的單值函數，只要測出的變化量就能確定金屬導體與線圈之間距離x的變化量。如圖2(b)所示。x-u曲線的非線性程度受線圈尺寸參數的影響，合理設計線圈尺寸參數能使傳感器的非線性誤差較小，而又不會使靈敏度降得太多。從圖2(b)可以看出，電渦流傳感器的輸出特性是一條光滑的曲線，這條曲線的形狀比較近似于直線，可以用一條接近于該曲線的直線來代替。