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發布時間:2021-09-10 09:02  
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24um線性膨脹,所以必須有±0。1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
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無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。在制藥和生物工學工業,無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性的病毒或細菌的污染之特性。在biotech市場,清洗真正地是一個很重要的企業。

對無塵室C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中很重要的為天花板,其包含HEPA及ULPA等濾網,其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區域的小房間,曾有人說:若建造之預算因某種原因被限制,除了少數的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實天花板是一個頗復雜的系統其必須嚴格地過濾粒子,故其設計必須準確。

在設計電子潔凈室的同時,要確保所有建筑物的建筑面積或空間布局,所有建筑物都必須具有適當的靈活性,整個區域的主體結構不應采用承載內壁的方式。在電子潔凈室的設計中,必須通過攻擊來控制整個房間的高度。即使如此,它們的凈高也可以保持在100毫米的基本模量。在設計電子清潔廠房時,應根據整個廠房主體結構的耐久性進行設置,或適合于室內設備與裝修水平的協調。
