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              文章詳情

              減薄機加工品牌企業(yè)「多圖」

              發(fā)布時間:2020-10-09 07:50  

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              影響減薄機減薄硅片平整度的因素有哪些?

              減薄前將硅片粒結(jié)合在行星齒輪片上的沾片方法是十分重要的。因為當(dāng)沾片的方法不合理時,減薄后的硅片厚度公差將會隨之增大,所以在沾片前我們要故的首步是將硅片按厚度分好檔,然后把硅片用蠟均勻地沾在行星齒輪片正、反兩面上,需要注意的是同一輪研磨的四塊或五塊行星齒輪片上的硅片厚度-定要均勻,如果硅片不按照厚度去分檔,而任意沾片,想要提高減薄后的硅片厚度公差是相對比較困難的。



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              立式減薄機IVG-200S設(shè)備規(guī)格

              設(shè)備規(guī)格:


              1)磨盤主軸系統(tǒng)

              A) 類型:滾子軸承

              B) 電機:AC 伺服電機(3.0kW)

              C) 砂輪規(guī)格:Ф200mm

              2) 工件盤主軸系統(tǒng)

              A)     類型:滾子軸承

              B)     電機:齒輪電機(0.75kW)

              3) 進給系統(tǒng)

              A)     類型:Combination of Ball Serve and LM Guide

              B)     電機:微步進給電機

              C)     控制:0.1μm Control by Linear Scale Feedback

              4) 控制系統(tǒng)(PLC)

              A)     制造商:Parker Hannifin Co.

              B)     控制器:SX Indexer/Drive

              C)     顯示系統(tǒng):EASON 900

              5) 輔助設(shè)備

              A)     電源:220V,50Hz,3相,5kW

              B)     氣壓:5.5-6kgf/cm2  (0.55-0.6Mpa)

              C)     離心分離機:Sludge Free(SF100)(選配件)

              D)     水箱容量:200L

              E)     冷凝器:0.5kw

              F)     過濾裝置:20μm,10μm Cartridge Filter

              6) 尺寸及重量

              設(shè)備尺寸:1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)  

              設(shè)備重量:1,400kg  



              立式減薄機IVG-200S設(shè)備特點


              1.操作簡單

              該設(shè)備采用PLC控制系統(tǒng),通過簡單的培訓(xùn),操作者即可在液晶顯示屏友好界面的引導(dǎo)下,熟練操作設(shè)備。當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時, 屏幕向?qū)崾境鲥e編碼,易于排除故障。

              2.設(shè)計安全

              該設(shè)備的設(shè)計處處為使用者的安全著想,保證操作加工的安全。

              3.保證精度

              磨盤的進給采用微米步進電機進給系統(tǒng),保證長時間的加工精度。

              4.各輪獨立驅(qū)動

              磨盤及工件盤均采用獨立的電機,分別采用變頻或伺服控制,轉(zhuǎn)速可任意調(diào)整,且控制簡便。

              5.冷卻水循環(huán)使用

              冷卻水箱配有雜質(zhì)過濾系統(tǒng),冷卻水可循環(huán)使用,即節(jié)約成本,又減少了對環(huán)境的環(huán)境。一臺冷卻水箱可同時連接多臺設(shè)備。