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              真空箱氫氣檢漏系統生產廠家行業專家在線為您服務【科儀創新真空】

              發布時間:2020-12-10 09:42  

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              真空設備檢漏

              聽音法

              氣體從小孔中噴出時,會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。

              該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。若工廠噪音較大,則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi,某種程度上可以消除周圍噪音的影響,聽清泄漏聲音,但有時與泄漏無關的聲音(例如電機的聲音)也會混雜進來,從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音,可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大,多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa,周圍非常安靜的條件下,可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。但是,以氦氣作為示漏氣體,也有一些不足之處,例如橡膠、塑料等有機材料常常會吸收氦氣,在吸收后慢慢地釋放出來。

              這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi,在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽,往往因聲波的反射或吸收,很難確定泄漏點,即發聲地點。由于檢測環境條件不同,所得到的結果可能偏差很大。因此,這種方法的穩定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。

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              設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩定、靈敏度高、操作簡便,檢測迅速等特點,是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器,

              其測量工作原理如下。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計,用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。至少要在10-3mbar以下,空氣的流動才體現為分子流,質譜儀才能穩定正常工作。

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              真空設備檢漏與維修

              為什么要檢漏

              泄漏和密封相對應

              很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。氫的分子量與氦氣相近,是所有化學元素中分子量最輕的元素,有很好的擴散性,逃逸性很強,吸附及粘滯性很低。

              這些對密封性有要求的產品或設備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。

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