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隨著真空技術在應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示“差”的意思。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍，按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

 真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。為了使用方便和真空工藝過程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態。按電動機標牌規定連接電源，并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。對于有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。