微電子百級凈化工程常用解決方案「多圖」

傳統凈化工程存在的不足應該如何解決

具體解決方案有：

　　（1） 應用納米鈦炭網與光觸媒技術去除有害氣體以及異味。

　　 在凈化系統的送回風管道中（或在靜電凈化柜中）安裝應用納米鈦炭濾網，并使用光觸媒技術，可以非常有效的去除降解有毒有害氣體及氣味。從而解決了潔凈工程不能去除有毒有害氣體及氣味的難題。

　　 （2）采用靜電滅菌凈化柜來殺滅細1菌，消毒并去除飄塵。

　　 靜電滅菌凈化柜的工作原理：靜電滅菌凈化柜中的電場，采用圓孔針狀、蜂巢棒狀的雙區靜電場；雙區指的是極化區和極塵區。當通風管道中送出的空氣在通過雙區靜電場時，空氣中的細1菌、飄塵等污染物首先被靜電場極化 (即充上負電荷)，因細1菌的胞囊其本身是帶負電荷的，在通過靜電極化區時被再一次充上很高能量的負電荷。帶負電荷的細1菌、病毒等污染物通過系統進入正電場的集塵區時，即刻被集塵區的正集塵板強烈的吸集，在正電極的作用下，要在瞬間快速釋放其胞囊中的負電荷能量時，胞囊即刻被擊碎而，其滅菌率達到99.99%，從而達到滅菌消毒1的目的。同時靜電場對空氣中的飄塵有強烈的吸集與凝并作用，其除塵率達96%。這就有效的保護了高1效過濾膜，增加其使用壽命 2—3倍，而電場用金屬材料制作，可方便的卸下，清洗后反復使用，減少了系統的使用成本。兩者的過濾單元構造區別1、FFU層流罩是由送風箱體，法蘭，導風板，風機，高1效過濾器組成的，是帶動力裝置的凈化設備，可以單獨或連接風管使用。

　　⑶低溫等離子滅菌此方式是在風道內加裝低溫等離子模塊，該技術的關鍵是通過高壓脈沖介質阻擋放電的形式產生大量等離子體，將氣體激1活，產生各種活性自由基，對甲醛、二甲1ben等有毒有害氣體發生降解、氧化等復雜的物理和化學反應，且副產品無1毒，避免二次污染，并可對各種污染氣體進行同時治理。1⑷紫外燈殺菌利用紫外線殺菌的方式由來已久，1910年，紫外線shou次被Cernovedeow和Henvi運用于飲用水消毒1殺菌。低溫等離子模塊的功效主要在于除塵、滅菌、祛除異味、降解有機廢氣、釋放負離子等，利用低溫等離子體降解有機廢氣、祛除異味、殺滅細1菌、病毒、凈化空氣是國際上比較的高新技術，國內外稱之為21世紀環境科學四大技術之一。1

　　⑷紫外燈殺菌利用紫外線殺菌的方式由來已久，1910年，紫外線shou次被Cernovedeow和Henvi運用于飲用水消毒1殺菌。目前，紫外線已被廣泛應用于飲用水、純水、電子、、空氣凈化消毒、環保污水處理等領域。紫外線殺菌原理是通過紫外線對微生物的照射，以改變及破壞微生物的組織結構(DNA-核酸)，導致核算結構突變，生物體喪失、繁殖能力，功能遭受破壞，凈化工程從而達到消毒、1殺菌的目的。要提高醫院潔凈室的工程質量，必須從設計、施工和維護三方面同時重視。紫外線的波長范圍為1360×10-10m~3900×10-10m。其中在波長為2400×10-10m~2800×10-10m范圍具殺菌效能，即所謂的C波段紫外光。

　　⑸納米光觸媒凈化利用納米技術進行殺菌凈化是近年來新發展起來的高科技手段，光觸媒[Photocatalyst]是光[Photo=Light] 觸媒(催化劑)[catalyst]的合成詞1970年初，Fujishima和Honda在TiO2單結晶電極在受到光的照射后做光氧化反應和光還原反應，水分解成氫和氧，之后此項研究繼續發展到今。2風管要求經濟與效率并重在集中或凈化空調系統中，對風管的要求是既經濟又能有效地送風。(Nature報發表)各種應用領域的快速發展，加快對此項研究進程。

　　光觸媒是利用光源做催化反應(化學反應：氧化·還原反應),促進有機物分解的光半導體物質，光觸媒吸收太陽光和日光燈和可視光線所發出的紫外線，在光觸媒表面形成氧化能力極強的活性氫基(OHRadical)，它可以把細1菌和有機污染物分解并驅除，并且把有機污染物分解成無污染的水(H2O)和二氧化碳(CO2)，達到殺菌，除臭，空氣凈化的效果。目前常用的光觸媒是氧化能力極強的超微粒子化的二氧化鈦。35m/s壓差：主凈化車間對相鄰車間≥5Pa溫度：冬季＞16℃±2℃。檢測中心對光觸媒的檢測結果表明光觸媒對常見的細1菌的殺菌效果在99%以上，近來，光觸媒被譽為未來產業之一的納米技術產品。此外，還有些場合使用噴灑消毒氣霧劑的方式來進行空氣治理，但因此種方式有效時間短，濃度不易控制，易產生二次污染等原因，不宜推廣使用。

無塵車間內的中央空調如何節能

     1、出風口保持順暢，不要堆放大件物品阻擋風首，影響制冷或制熱效果，增加電能消耗。

　　2、職員長時間離開1房間時，提前10分鐘關掉空調，節約電能。

　　3、按期清洗空調進風口過濾網和出風口風向調節板，這樣可使凈化空調的進風通暢，保持空氣潔凈，降低能耗的同時對人的健康也有利。

　　4、使用空調的房間應安裝窗簾，在夏季，遮住日光的直射可使空調節電約5%，冬季白天使日光射進房間，夜間用窗簾遮擋，以防熱量損失。

　　5、空調運行時盡量少開門窗，頻繁地開閉門窗會使空調的制冷或制熱效果降低，鋪張電能。

　　6、使用空調不應頻繁開關，不要由于房間溫度已達到或高于設定溫度而常常啟動和封閉空調，應當讓空調通過溫度控制器來自動迭制啟動和封閉。

　　7、公道設置溫控器溫度，一般溫度設定在24度至26度為宜，避免過熱或過冷，夏季時調高1度，可節電10%左右，冬季時調低1度，則可節電5-8%。

　　8、每天開機前先開窗透風一段時間，降低室內有毒氣體濃度，保持空氣清新。

　　9、科學設置開機時和使用中的溫度，風量，剛開機時，先設置高冷或高熱，大風量，使期快速達到理想溫度，當溫度相宜時，改為常用溫度，中，低風量，減少能耗，降低噪音。