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氣體與液體相同是流體:它能夠活動，可變形。與液體不同的是氣體能夠被壓縮。假設沒有約束(容器或力場)的話，氣體能夠分散，其體積不受約束。氣態物質的原子或分子相互之間能夠自由運動

通常，高純氣體系指氣體中含較少雜質氣氛(純度)，微量水份(干燥度)污染物粒子的婁量保持在低限度，其粒度也應是小的(潔凈度)。因此，對于高純氣體，純度、干燥度、潔凈是三項重要的標度。

特別是近10年來，隨著更復雜、更密集的大規模和超大規模集成電路的生產，對高純氣體潔凈度的要求，其重要程度已不亞于對純度和干燥度有嚴格要求的用氣工藝，無一不對其中的粒子提出限制。

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二氧化碳是惰性氣體，不存在燃燒、的風險。即使鋼瓶的閥門損壞，其 大的風險就是氣體快速噴出（嘶嘶響的噪聲怪嚇人的），而已。其次，二氧化碳 低溫度-78.5℃，遠高于液態氧氣的-120℃，高于氣的-189℃，高于液氮的-196℃，即使潑灑到器具或身體上，也不會造成 性傷害。

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目前微量氧的分析一般采用氧分儀和氣相色譜分析，不論采用哪種分析方法，微量氧的分析采樣是一個關鍵技術，因為空氣中含有大量的氧氣，如果取樣過程出現任何小的紕漏都會造成數據的嚴重失真。取樣閥一定要采用直通不帶壓力表的針形微調閥，這種閥體積小，置換起來比較方便，管線也一定要采用不銹鋼硬鏈接的管線，任何軟管都不能采用。氣相色譜分析微量氧的方法主要有TCD、ECD、DID以及氧化鋯和質譜等方法，