廣東正壓氦所質譜檢漏儀公司咨詢客服「多圖」

氦質譜檢漏儀的構成

氦質譜儀電氣部分的核心是質譜室的供電和測量，其他部分包括真空系統的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發生器、高壓整流器及發射電流穩定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規電源。在氦質譜儀檢漏技術中，根據被檢件的結構，尺寸要求和具體的檢漏條件，設置具有預抽被檢件、保證檢漏儀工作真空度、氣體分流、縮短反應時間和清除時間、降低對靈敏度的不良影響等功能的輔助真空系統，在某些條件下是非常必要的。

氦質譜檢漏儀示蹤氣體選擇

對示蹤氣體的要求：氦質譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質譜檢漏儀器。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，同等條件下，直線運動距離長。實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。質譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點：

1、無害，不能對人體或環境造成傷害。

2、質量輕，惰性氣體，能穿透微小細縫。

3、化學性質穩定，不會起化學反應。

4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

氦質譜檢漏儀的結構

氦質譜檢漏儀分析器的作用是使不同質荷比的離子按不同軌跡運動從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成。

氦質譜檢漏儀分析器的出口電極一般采用三柵結構。在離子收集極前面有三個柵極G1、G2、G3。G1和G3接地，中間柵極G2與離化室相連。G1柵的狹縫決定了氦離子的運動半徑，而使除氦以外的其他離子打不到收集極上去。中間柵極G2的正電位對于正離子而言相當于一個拒斥電場，只有具有一定能量的氦離子才能通過G2的狹縫，而由于碰撞失去能量的其他雜散離子即使進入G1狹縫，也不能通過G2狹縫到達收集極，使收集極的氦離子流不受這些雜散離子的干擾。柵極G3是抑制離子在收集極上打出的二次電子不跑向G2，使它仍返回收集極，以防離子流的不穩定。

氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送人到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。