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發(fā)布時(shí)間:2021-05-12 08:13  
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?光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
從大的方面來(lái)講,光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分,細(xì)分為以下幾道主要工序:
單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢查-蝕刻(化學(xué)蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋)-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝
從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序,切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例,介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。
潔凈車(chē)間空氣凈化設(shè)備的保養(yǎng)維護(hù)妙招
1.潔凈車(chē)間內(nèi)設(shè)備管理由于專(zhuān)業(yè)人員負(fù)責(zé),由凈化工程公司的人員進(jìn)行定期維護(hù)、保養(yǎng)工作。
2.靜壓差、溫濕度等數(shù)據(jù)需要由管理人員每日觀察記錄,如發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)異常應(yīng)及時(shí)報(bào)告,并對(duì)空氣凈化設(shè)備進(jìn)行檢修維護(hù)工作。
3.凈化空調(diào)系統(tǒng)在整個(gè)凈化工程中占據(jù)著重要位置,其使用應(yīng)嚴(yán)格按照相關(guān)規(guī)范進(jìn)行,在潔凈車(chē)間操作期應(yīng)保持設(shè)備的連續(xù)運(yùn)作。
4.送風(fēng)口、新風(fēng)機(jī)組等設(shè)備需要定期進(jìn)行清潔,更換,并做好記錄工作。
潔凈車(chē)間在正常操作、人員進(jìn)入等必須保持凈化設(shè)備的運(yùn)行,避免二次污染的發(fā)生。凈化工程公司的嚴(yán)格科學(xué)的管理可保持設(shè)備運(yùn)作。
空調(diào)凈化需關(guān)注節(jié)能
空調(diào)凈化是能耗大戶(hù),設(shè)計(jì)與施工中需關(guān)注節(jié)能措施。在設(shè)計(jì)中,系統(tǒng)及區(qū)域的劃分,送風(fēng)量計(jì)算,溫度與相對(duì)溫度的確定,潔凈級(jí)別與換氣次數(shù)的確定,新風(fēng)比,風(fēng)管保溫,風(fēng)管制作中的咬口形式對(duì)漏風(fēng)率的影響,干管支管連接角度對(duì)氣流阻力的影響,法蘭連接是否漏風(fēng)等以及空調(diào)箱、風(fēng)機(jī)、冷水機(jī)組等設(shè)備選擇無(wú)一不與能耗有關(guān),所以,這些細(xì)節(jié)必須要考慮到。
風(fēng)管要求經(jīng)濟(jì)與效率并重
在集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中,對(duì)風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟(jì)又能有效地送風(fēng)。前者要求體現(xiàn)在價(jià)格低廉,方便施工,運(yùn)行成本,內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴(yán)密性好,不漏氣,不發(fā)塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。在運(yùn)行中,有時(shí)候管件的局部阻力大大高于風(fēng)管的沿程阻力,這種狀況需要改善。管件主要有彎頭、變徑管三通及四通管。彎管的中心曲率半徑應(yīng)大于矩形風(fēng)管的邊長(zhǎng),圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風(fēng)管應(yīng)在管內(nèi)加導(dǎo)流片,以減少阻力。而在實(shí)際安裝施工中,較少如此處理。對(duì)于變徑管,不可突然變徑,宜作成漸擴(kuò)(縮)管,漸擴(kuò)管每邊擴(kuò)展角應(yīng)大于15°,漸縮管則每邊收縮角不大于30°。矩形風(fēng)管的三通要順氣流彎管彎曲分流,支管也應(yīng)有一定的曲率半徑。若要90°角分流,則應(yīng)在彎頭內(nèi)加導(dǎo)流片。
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