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氦質譜檢漏原理

深圳銳誠真空專業生產、銷售氦檢漏設備，我們為您分析該產品的以下信息。

氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術，氦檢漏設備，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。質譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，氦檢漏設備價格，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。檢漏儀在質譜室中將氣體電離，這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發生偏轉，由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏設備保養，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數量，電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣，是因為氦氣具有以下優良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；

②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；

③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷任何設備；

⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。

氦檢漏設備工作原理

以下內容由深圳銳誠真空為您提供，希望對同行業的朋友有所幫助。

根據氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能、迅速準確的判斷工件的泄露情況。

技術參數

真空箱數量: 根據實際需要

真空箱容積: 根據實際需要

示漏氦氣壓力:根據實際需要

耐壓試驗壓力:根據實際需要

檢漏生產節拍:根據實際需要

氦氣回收率: ≧98%

基本功能

操作者把工件放在真空箱內，將工件接口與真空箱內的快速接頭進行連接，在真空箱門關閉后，系統能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程，生產節拍快，檢漏精度高。

氦質譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求

氦質譜檢漏儀中氦質譜檢漏系統的關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。秀長的體積，優越的性能，適用于眾多行業。運用了氦質譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術，實現了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。

氦質譜檢漏儀特點：

1.檢測時間和響應周期非常短，可以達到2s以內；

2.檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測功能：可通過預設壓力，抽空時，達不到預設值，檢漏儀自動報警提示。

5.多種計量單位選擇，檢測數據實時更新，直接輸出生成Excel表格。

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