凈化車間在施工前在對潔凈室工程選址時,要做到周邊空氣環境應污染小,同時有綠化環境的設置。盡可能的減少凈化車間施工建設面積,根據企業實際需求選擇潔凈等級,避免發生浪費。凈化車間施工時,室內的墻與頂部的選材及構造應合理選擇,特別注意無塵特點。科學的降低凈化車間的冷熱負荷,這是凈化車間施工時能降低能耗的有力途徑。如設備排氣量的減少、避免空調泄出、減少室內發塵量等。
B.造價高。特點:A.建議新風經過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵車間/廠房。光學微電子行業凈化工程設計方案分析之水冷柜機 增壓風柜 送風口與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
光學微電子凈化工程凈化參數換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。溫度45-65%;GMP劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
進出風淋室管理要求進出風淋室時推門、拉門必須按門上提示操作,不可隨意亂推、亂拉。風淋時不準靠在風淋室的門或墻上,也不能擠在一起,必須對著風淋室吹風口站立,以便吹落灰塵。必須等風淋結束后才能推門進入到生產車間。出生產車間通過風淋通道時,必須先關好靠生產車間方向的門,然后再推門出風淋室。風淋室風嘴方向正常應是向下吹風,請勿隨意撥弄調整好的風嘴方向,以求達到較大的除塵效果。生產車間主管每天要對風嘴方向進行檢查。