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陽極氧化鋁板化學(xué)拋光中出現(xiàn)的缺陷及其糾正措施是在生產(chǎn)的發(fā)展過程中不斷總結(jié)完善的。 光亮度不足。這是化學(xué)拋光中較關(guān)心的事情。光亮度沒有達(dá)到預(yù)期的目標(biāo)，其原因可從特殊鋁材的生產(chǎn)工藝和化學(xué)拋光工藝這兩方面分析。有關(guān)特殊鋁材的生產(chǎn)工藝已經(jīng)有詳細(xì)的論述。建議采用鋁純度99.70%及其以上級(jí)別的鋁錠，來生產(chǎn)特殊鋁材；鋁材加工工藝中質(zhì)量控制為化學(xué)拋光得到高光亮度表面奠定基礎(chǔ)。化學(xué)拋光后，具有很高的光亮度。槽液控制中含量不足，會(huì)使表面光亮度不足，其表面可能過多地附著一層銅；含量太高，鋁材表面形成彩虹膜，會(huì)使表面模糊或不透明，還引起光亮度不足；化學(xué)拋光時(shí)間不足，溫度不夠，攪拌不充分，槽液老化等也會(huì)使化學(xué)拋光表面光亮度不足。槽液的相對密度較大，防止鋁材浮出拋光槽液的液面，致使上部鋁材光亮度不足。水的影響造成光亮度不足，往往容易被忽視。較好用干燥的鋁材進(jìn)入化學(xué)拋光槽液，杜絕水分的帶入。

注意事項(xiàng)根據(jù)我公司長時(shí)間對拋光工藝的摸索與實(shí)踐，光亮劑在拋光液中幾乎消耗相當(dāng)細(xì)微，因此時(shí)視具體的情況配比補(bǔ)加光亮劑，新配拋光溶液拋光時(shí)間要短；溫度偏高時(shí)，拋光時(shí)間要短些，若拋光2min以上仍不光亮?xí)r，可觀察拋光時(shí)液面泡沫的多少，酌情添加光亮劑，泡沫少時(shí)可按適當(dāng)比例添加部份光亮劑，泡沫多時(shí)只要按比例加入磷酸和硫酸即可。生產(chǎn)一段時(shí)間后的溶液呈乳白色且粘度大，所以化學(xué)拋光后的產(chǎn)品需要反復(fù)清洗，否則酸液殘留于工件表面將會(huì)導(dǎo)致表面產(chǎn)生白霜點(diǎn)。

依據(jù)機(jī)械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學(xué)、物力化學(xué)多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學(xué)、半導(dǎo)體化學(xué)基礎(chǔ)理論等，對硅單晶片化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）機(jī)理、動(dòng)力學(xué)控制過程和影響因素研究標(biāo)明，化學(xué)機(jī)械拋光是一個(gè)復(fù)雜的多相反應(yīng)，它存在著兩個(gè)動(dòng)力學(xué)過程：（1）拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動(dòng)力學(xué)過程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。（2）拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面，即解吸過程使未反應(yīng)的硅單晶重新出來的動(dòng)力學(xué)過程。它是控制拋光速率的另一個(gè)重要過程。硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過程，要獲得質(zhì)量好的拋光片，必須使拋光過程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用，則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用，則表面產(chǎn)生高損傷層。