愛德華真空泵維修公司小型真空系統「明勝機電」

真空泵轉子與靜止件軸向摩擦的振動機理

  理論研究和試驗表明，轉子與精致件發生軸向摩擦時，真空泵轉子的振動特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦時，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別，必須尋求新的銘感參數。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉速度有關，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉子與靜止間的干摩擦因數和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦會引起系統阻尼的顯著增加，因此系統阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。

  另外，摩擦會造成成功耗上升和效率下降，同時局部會有溫升，因此工藝參數對轉子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

EDWARD E2M80 愛德華真空泵維修

  惠州市明勝真空設備有限公司www.hzmszk.com真空泵維修服務：公司擁有一支強大、專業維修進口真空泵技術隊伍，特別精通于普旭(博世)BUSCH，萊寶Leybold，偉力Rietschle（里其樂），Becker貝克，EDWARD愛德華，ULVAC愛發科等進口真空泵的維修與保養服務，歡迎廣大業界人士來電來函，我們將竭誠為您提供免費的技術指導與全套滿意的維修服務支持。愛德華真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。

Edward愛德華EH1200羅茨泵維修保養 漏氣，有點卡死

EH1200是德國Edward愛德華EH系列羅茨泵，這款泵是比較大的，羅茨泵不能單獨使用，一般是可以搭配螺桿泵或者旋片泵使用。其他進口螺桿真空泵維修型號：EH250，EH500，EH1200, EH2600，EH4200

提供進口羅茨泵維修保養，維修品牌包括：萊寶、愛德華、Aerzen, Kaesser, Dresser, Hibon, Robuschi, RKR等進口品牌；羅茨泵維修提供萊寶WSU系列、WAU系列和愛德華EH系列等；

愛德華羅茨泵維修因為結構不一樣，所以它和油封封E2M80的維修方法有點不一樣，出現的故障也不一樣。像羅茨泵一般會出現的問題是

1.發熱、

2.卡死、

3.抽氣量不足、

4.性能不穩定、

5.噪音大等故障；

溫馨提示：如果愛德華EH1200羅茨泵漏氣，有點卡死，記得致電專業的羅茨真空泵維修廠家，不可擅自處理，以免引起其他不良的故障反應。

半導體加工我們繼續革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環境的排放、延長產品使用壽命并降低持續服務成本，努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統，因為它們能夠滿足成熟制程與發展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統等各種系統，用來優化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。3極限壓力渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進入氣體長期運轉，在測試罩內所能達到的穩定時的低壓力，用P。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統 提供極短的波長。要讓您的系統具有 性能，真空環境是關鍵。真空系統的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發了 精密真空系統，可為您進行的大型投資提供 可靠性。技術數據GV80GV160GV250GV400GV600構造3爪 1桿2爪 1桿3爪式3爪式3爪 1桿排量（工作容積）91。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性和長正常運行時間至關重要。