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流量控制器基本原理

通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。若作測脈動流測量，應了解TMF的響應性，以保證能跟隨的上脈動的速度變化。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

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流量控制器的控制響應速度

物理時間常數

物理時間常數用希臘字母Tau來表示，是現今為數不多的用來描述響應時間的標準之一，即：控制器到達設定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數底數的無理數，其值為2.72，所以1-1/e即為設定值的63.2%。0級的精度等級4、多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等5、內置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準6、標配三種顯示方式：數字、模擬和本地面板想了解更多關于質量流量控制器的相關資訊，請持續關注本公司。雖然該定義是一個物理標準，可能說明不了什么問題，因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到：ALICAT?質量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設定值的63.2%。

任意設定值百分比變化區域

不少質量流量控制器的技術參數采用設定值某一百分比區間內的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。二、設備在使用條件上必須進行零點標定，該設備時屬于在線使用高精的測量儀表，長期使用時一定要定期的進行標定。由于和后的 10%控制響應曲線變化，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示，ALICAT?質量流量控制器用了11.4毫秒到達設定值， 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設定值10%到達90%所用的時間來定義設備響應速度的話，那么結論是6~7毫秒。

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流量控制器的性能參數

流量控制器的特點是：當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。

流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差，行業標準中的誤差要求小于等于8％，A類產品的誤差小于等于5％。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設計、加工和材質。

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流量控制器的性能參數有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差

工作壓差范圍指的是當流量控制器進口、出口壓差變化在多大范圍時，能保持通過流量控制器的流量恒定不變。質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。行業標準中規定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類產品工作壓差范圍達到0.03－0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設計。

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