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而光阻通常是一個很好的屏蔽資料，且由于其圖案轉印過程簡單，因而常被運用。但運用光阻作為屏蔽資料時也會發作邊際剝離或龜裂的景象。邊際剝離乃由于精密五金蝕刻溶液的腐蝕，形成光阻與基材間的黏著性變差所造成的。處理的辦法則可運用黏著促進劑來添加光阻與基材間的黏著性，一般來說，當溶液濃度添加時，精密五金蝕刻速率將會進步。而進步溶液溫度可加快化學反響速率，進而加快精密五金蝕刻速率。

影響精密五金蝕刻的要素許多，下面概述幾點：

1)蝕刻方式：浸泡和鼓泡式蝕刻會構成較大的精密五金蝕刻，潑濺和噴淋式蝕刻精密五金蝕刻較小，尤以噴淋蝕刻效果好。

2)蝕刻液的種類：不一樣的蝕刻液化學組分不一樣，其蝕刻速率就不一樣，蝕刻系數也不一樣。例如：酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數通常為3，堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數可抵達4。近期的研討標明，以肖酸為根底的蝕刻系統能夠做到幾乎沒有精密五金蝕刻，抵達蝕刻的線條側壁靠近垂直。這種蝕刻系統正有待于開發。

脫銷定位系統定位包括照相底片沖孔器和雙圓孔脫銷定位qi。定位方法是：首先將正、反兩張底片藥膜面相對在顯微鏡下對準，將對準的兩張底片用沖孔器沖兩個定位孔，取一張沖好定位孔的底片去編鉆孔程序，便能得到同時鉆出元件孔和定位孔的數據帶或數據盤，一次性鉆出元件孔及定位孔，在孔金屬化后預鍍銅，便可用雙圓孔脫銷定位qi定位曝光。