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氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-真空法，真空法首要應用于真空密封功能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設備等。真空法檢測靈敏度高，能夠準確定位，能完成大容器或雜亂結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。可是只能完成一個大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產(chǎn)品的實在走漏狀況。可是這種檢漏體系雜亂，需求依據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設計真空密封室，在檢漏過程要求確保充氣管道接口無走漏，或者采取特別的結(jié)構(gòu)設計將一切充氣管道銜接接口放置在真空密封室外部。

選用真空法檢漏時，需求使用輔佐真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產(chǎn)品外外表施氦氣，當被檢產(chǎn)品外表有漏孔時，氦氣就會經(jīng)過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品走漏量丈量。依照施漏氣體辦法的不同，又能夠?qū)⒄婵辗ǚ譃檎婵諊姶捣ê驼婵蘸ふ址?。其間真空噴吹法選用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外外表噴吹氦氣，能夠完成漏孔的準確定位；特種氣體系統(tǒng)的設計與施工供氣系統(tǒng)的選擇簡單供氣系統(tǒng)簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構(gòu)以及一些單臺的工藝設備等。 真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來，在罩內(nèi)充溢必定濃度的氦氣，能夠完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

特種氣體管道

氣體滲透性：

氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因為空氣中氧氣和氮氣分壓力1大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮氣的滲透 ， 一般對氧氣的滲透測試比較多。

特氣管道試壓

　　1、管道試壓前應全1面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等，質(zhì)量應符合設計要求及技術規(guī)范的規(guī)定。

　　2、管道試壓應編制試驗方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線，如放空管、排液管等可不進行試壓。

特種氣體：氦氣

氦氣具有化學惰性，常被用做半導體工業(yè)的保護氣和科學實驗中的載體氣。氦氣可以隔絕氧氣，避免電焊工件、單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生化學反應。目前，保護氣已成為氦氣的第二大應用領域。在氣相色譜中，氦氣作為載體氣可運送被測氣體且不與其發(fā)生反應。

 氦氣分子1小，使其穿透能力強、密度1小，被用做管道檢漏，可解決單純依靠聲波檢測技術無法解決的問題，對深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道，特別是低壓運行的管道，有明顯的檢測效果。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設計

對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會考慮配置的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇1毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區(qū)設計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。如果沒有管帽，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。