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發(fā)布時間:2021-03-09 06:48  
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負(fù)載(Loading)-- 蝕刻速率依賴于可蝕刻表面數(shù)量,可在宏觀或微觀尺寸下。 縱橫比決定蝕刻(Aspect Ratio Dependent Etching/ARDE)--蝕刻速率決定于縱橫比。 終點(diǎn)(Endpoint)-- 在一個蝕刻過程中,平均膜厚被蝕刻干凈時的時間點(diǎn)。 光刻膠(Photo-resist)-- 作為掩膜用來圖形轉(zhuǎn)移的光敏材料。 分辨率(Resolution)-- 用于測試光學(xué)系統(tǒng)把相鄰的目標(biāo)形成分離圖像的能力。不銹鋼標(biāo)牌產(chǎn)品適用于家具、家電、皮具、刀具、機(jī)械設(shè)備、廚柜、潔具、服裝、酒店、門閘、汽車行業(yè)等企業(yè)單位。 焦深 (Depth of focus) – 在焦平面上目標(biāo)能形成影像的縱向距。 關(guān)鍵尺寸(Critical dimensi-CD)-- 一個特征圖形的尺寸,包括線寬、間隙、或者 關(guān)聯(lián)尺寸。
化學(xué)蝕刻(Chemical etching)-- 氣態(tài)物質(zhì)(中性原子團(tuán))與表面反應(yīng), 產(chǎn)物必定易揮發(fā),也稱為等離子蝕刻。 等離子增強(qiáng)蝕刻(Ion-enhanced etching)—單獨(dú)使用中性原子團(tuán)不能形成易揮發(fā)產(chǎn)物,具有一定 能量的離子改變襯底或產(chǎn)物;在技術(shù)分為機(jī)械、化學(xué)和電化學(xué)方法等[1~4],其中化學(xué)蝕刻具有工藝簡單、操作方便、精度高和生產(chǎn)成本低等優(yōu)點(diǎn),適合于批量生產(chǎn),蝕刻深度為20~200μm。具有一定能量的離子改變襯底或產(chǎn)物層,這樣,化學(xué)反應(yīng)以后 能生成揮發(fā)性物質(zhì),亦稱為反應(yīng)離子蝕刻(RIE) 。 濺射蝕刻(Sputter etching)--具有一定能量的離子機(jī)械的濺射襯底材料。 蝕刻速率(Etch rate)--材料的剝離速率,通常以?/min,?/sec,nm/min, um/min 為單位計 量。 各向同性蝕刻( Isotropic etch)-- 蝕刻速率在所有方向都是相同的。