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漲知識！帶你了解14類工業氣體

具體來說工業氣體可分為以下14種：

外延氣體(Cpitaxial gases) ：在仔細選擇的襯底上采用化學氣相淀積(CVD) 的方法生長一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。液氮罐的放置液氮罐要存放在通風良好的陰涼處，不要在太陽光下直曬。硅外延氣體有4 種, 主要用于外延硅淀積, 多晶硅淀積, 淀積氧化硅膜, 淀積氮化硅膜, 太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。

蝕刻氣體

蝕刻方式有濕法化學蝕刻和干法化學蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 干法蝕刻由于蝕刻方向性強、工藝控制方便、無脫膠現象、無基片損傷和沾污, 所以其應用范圍日益廣泛。

摻雜氣體(Dopant Gases)

在半導體器件和集成電路制造中, 將某種或某些雜質摻入半導體材料內, 以使材料具有所需要的導電類型和一定的電阻率, 用來制造PN結、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。

液氮冷凍

液氮冷凍是近代領域中的一門新技術。

儲存防護

操作注意事項：密閉操作。密閉操作，提供良好的自然通風條件。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。建議操作人員穿防寒服，戴防寒手套。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。