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發布時間：2021-03-05 09:13
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光刻膠介紹
光刻膠介紹
光刻膠是一種對光線、溫度、濕度十分敏感的材料，可以在光照后發生化學性質的改變，這是整個工藝的基礎。
光刻膠有不同的類型，PMMA（PMGI）以及DNQ（酚醛樹脂）等材料都可以做光刻膠。
目前光刻膠市場上的參與者多是來自于美國、日本、韓國等國家，包括 FUTURREX、陶氏化學、杜邦、富士膠片、信越化學、住友化學、LG化學等等，中國公司在光刻膠領域也缺少核心技術。
光刻工藝主要性一
光刻膠不僅具有純度要求高、工藝復雜等特征，還需要相應光刻機與之配對調試。一般情況下，一個芯片在制造過程中需要進行10~50道光刻過程，由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等，不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣，即使類似的光刻過程，不同的廠商也會有不同的要求。近些年來，全球半導體廠商在中國大陸投設多家工廠，如臺積電南京廠、聯電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。
針對不同應用需求，光刻膠的品種非常多，這些差異主要通過調整光刻膠的配方來實現。因此，通過調整光刻膠的配方，滿足差異化的應用需求，是光刻膠制造商核心的技術。
此外，由于光刻加工分辨率直接關系到芯片特征尺寸大小，而光刻膠的性能關系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效應。光刻分辨率與曝光波長、數值孔徑和工藝系數相關。
NR9-3000PY
11．請教~有沒有同時可以滿足RIE
process 和Lift-off
process的光阻，謝謝！
A 我們推薦使用Futurrex
NR1-300PY來滿足以上工藝的需求。
12．Futurre光刻膠里，有比較容易去除的負光阻嗎？
A NR9-系列很容易去除，可以滿足去膠需要。
13．我們目前用干膜做窄板，解析度不夠，希望找到好的替代光阻？
A NR9-8000因為有很高的AR比例，適合取代，在凸塊的應用上也有很大的好處。
14．傳統的Color
filter 制程，每個顏色的烘烤時間要2-3個小時，有沒有更快的方法制作Coior
filter?
A 用于Silylation制程------烘烤時間只需要2分鐘，同時光阻不需要Reflow, 顏色也不會老化改變，只需要在Filter上面加熱溶解PR1-2000S光阻，Microlenses就能形成！
15．請問有專門為平坦化提供材料的公司嗎？
A 美國Futurrex公司，專門生產應用化學品的，可以為平坦化的材料提供PC3-6000和PC4-1000都是為平坦化用途設計，臺灣企業用的比較多。
16．我需要一種可用于鋼板印刷的方式來涂布PROTECTIVE
COATING，那種適合？？
A 推薦美國Futurrex，PC4-10000。
17．臘是用來固定芯片的，但很難清洗干凈，哪里有可以替代的產品介紹下，謝謝？
A 我們公司是使用Futurrex
PC3-6000,可以替代的，而且去除比較容易，你可以試用下。
18．請問有沒有100微米厚襯底為鍍鎳硅并可用與MEMS應用的光刻膠嗎？
A NR4-8000P可以做到140微米的厚度，并在鍍鎳的襯底上不會出現難去膠的問題，如果是其他非鍍鎳襯底NR9-8000P是適合的選擇。
19．誰有用在光波導圖案的光刻膠？是否可以形成角度為30度的側壁？
A 你必須實現通過逐步透光來實現掩膜圖案棱的印刷，NR4-8000P是專門為光波導圖案應用進行設計的產品。
NR9-250P
20．有沒有光刻膠PC3-6000的資料嗎？
A PC3-6000并不是光刻膠，它是用在chip
on glass 上的膠粘劑。
21．是否有Wax替代品？
A PC3-6000可替代Wax做晶片和玻璃的固定，比較容易去除掉。
22．貴公司是否有粘接硅襯底和襯底的材料？
A 有，IC1-200就是
23．請問是否有不用HMDS步驟的正性光刻膠？
A 美國Futurrex 整個系列的光刻膠都不需要HMDS步驟，都可以簡化。
24．一般電話咨詢光刻膠，我們應該向客戶咨詢哪些資料？
A 1 需要知道要涂在什么材質上，2
還有要知道需要做的膜厚，3
還要知道光刻膠的分辨率
4還有需要正膠還是負膠，5
需要國產還是進口的
27．想找一款膜厚在120um，的光刻膠，有什么光刻膠可以做到啊！
A 以前有使用過美國有款光刻膠可以達到Futurrex
NR21-20000P ，。
28．有沒有了解一款美國Futurrex
NR9-250P的光刻膠，請教下？
A 這是一款負性光刻膠，濕法蝕刻使用的，附著力很好，耐100度的溫度，國內也有可以代理的公司，Futurre
光刻膠是世界第4大的電子化學品制造商，在光刻膠的領域有著不錯的聲譽，在太陽能光伏，和LED半導體行業都有不錯的市場占有率。
29．想找款膜厚的產品，進行蝕刻，有什么好推薦？
A 厚膜應用（thick
film applicati），主要是指高縱橫比（Aspect
ratios）,高分辨率，高反差，有幾款產品向你推薦一下《NR4-8000P，NR2-20000P，NR5-8000，這些產品都需要用到邊膠清洗液》
的光刻
