您好,歡迎來到易龍商務網!
發布時間:2020-12-19 07:22  
【廣告】








手機真空納米鍍膜機的特點
(1)各種鍍膜技術都需要一個特定的真空環境,以保證制膜材料在加熱蒸發或濺射過程中所形成蒸氣分子的運動,不致受到大氣中大量氣體分子的碰撞、阻擋和干擾,并消除大氣中雜質的不良影響。
(2)各種鍍膜技術都需要有一個蒸發源或靶子,以便把蒸發制膜的材料轉化成氣體。由于源或靶的不斷改進,大大擴大了制膜材料的選用范圍,無論是金屬、金屬合金、金屬間化合物、陶瓷或有機物質,都可以蒸鍍各種金屬膜和介質膜,而且還可以同時蒸鍍不同材料而得到多層膜。
(3)蒸發或濺射出來的制膜材料,在與待鍍的工件生成薄膜的過程中,對其膜厚可進行比較的測量和控制,從而保證膜厚的均勻性。
什么是鍍膜機鍍膜的均勻性
均勻性這個概念本身也會隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義。在光學薄膜的尺度上看,真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內。原子層尺度上的均勻度,也就是說要實現10A甚至1A的表面平整,是現在真空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶頸所在對于多弧離子鍍膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。鍍膜中化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產生不均勻特性,那么實際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。對于晶格有序度的均勻性,這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題
真空鍍膜機濺射鍍膜與蒸發鍍膜的區別:
蒸發鍍膜是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。
蒸發鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發鍍膜的組分均勻性不好。
濺射鍍膜可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經歷成膜過程,終形成薄膜。真空鍍膜機設備
濺射鍍膜又分為很多種,與蒸發鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數之一。
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射),晶向(外沿)生長的控制也比較一般。
真空鍍膜設備背壓檢漏法
(1)充壓過程是將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內存放一定時間,如被檢件有漏孔,示漏氣體就可以通過漏孔進入被檢件的內部,并且將隨浸泡時間的增加和充氣壓力的升高,被檢件內部示漏氣體的分壓力也必然會逐漸升高。 (2)凈化過程是采用干燥氮氣流或干燥空氣流在充壓容器外部或在其內部噴吹被檢件。如不具備氣源時也可使被檢件靜置,以便去除吸附在被檢件外表面上的示漏氣體。在凈化過程中,因為有一部分氣體必然會從被檢件內部經漏孔流失,從而導致被檢件內部示漏氣體的分壓力逐漸下降,而且凈化時間越長,示漏氣體的分壓降就越大。 (3)檢漏過程則是將凈化后的被檢件放入真空室內,將檢漏儀與真空室相連接后進行檢漏。
