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發(fā)布時(shí)間:2021-03-26 18:26  
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無(wú)塵車間管理規(guī)范版本
無(wú)塵車間管理規(guī)范版本:
異常狀況處理:
a、在設(shè)備發(fā)生異常狀況(非緊急狀況),請(qǐng)先與設(shè)備之負(fù)責(zé)人或設(shè)備部工程師聯(lián)絡(luò)后再作處置。
b、遇有氣體外泄,化學(xué)品翻灑及火警等緊急狀況請(qǐng)通知負(fù)責(zé)人員。
廢棄物處理:
a、所有廢棄物及用過(guò)之化學(xué)品應(yīng)依規(guī)定之方式處理及傾倒。
b、隨時(shí)保持整潔,勿將垃圾留給別人,手套、指套、廢棄物請(qǐng)勿隨手丟,應(yīng)置入垃圾桶內(nèi)。
c、勿將酸及有機(jī)i溶劑混合傾倒,以免暴炸。
d、有機(jī)廢溶劑應(yīng)倒入專用容器中儲(chǔ)存,勿倒入排水系統(tǒng)中。
其它注意事項(xiàng):
a、勿在無(wú)塵車間內(nèi)踏步來(lái)回走動(dòng)。
b、非必要相關(guān)人員禁止停留在潔凈區(qū)域內(nèi)。

進(jìn)入無(wú)塵車間注意事項(xiàng)
進(jìn)入無(wú)塵車間注意事項(xiàng):
1、在潔凈室內(nèi)走動(dòng)時(shí)動(dòng)作宜輕不得奔跑,以避免影響層流。
2、在潔凈室內(nèi)工作,若暫停操作時(shí)不可以脫口罩及手套做短暫休息。
3、進(jìn)入潔凈室時(shí)須先經(jīng)過(guò)洗塵室。
4、進(jìn)入潔凈室工作人員必須穿著合身之無(wú)塵衣服及鞋子。
5、設(shè)備維修如有必要坐、臥或躺時(shí),須于地上鋪上專有之塑料布。
6、脫除無(wú)塵衣須先脫除:口罩、無(wú)塵鞋、無(wú)塵衣、發(fā)罩、手套、并依標(biāo)示分類擺放或丟棄。
7、口罩的正確扣戴方式是以無(wú)塵衣頭罩后面上方扣帶扣戴。
8、潔凈室工作人員不可攜帶非無(wú)塵筆記本進(jìn)入潔凈室。
9、潔凈室內(nèi)不得使用鉛筆、書寫一律使用原子筆,書寫錯(cuò)誤時(shí)也不可以用修正液修改。
10、著無(wú)塵衣之要求是遮口遮鼻、頭發(fā)不得外露、衣袖、口須包住手套口、避免手腕外露。
11、潔凈室內(nèi)高架地板不可隨意拉啟,以免影響層流及人員安全。

1、著裝完后,不可進(jìn)入監(jiān)控室。
2、進(jìn)入晶圓區(qū)工作同人均不得使用化妝品(如口紅、腮紅、香水等)。
3、進(jìn)入洗塵室注意事項(xiàng):不可并行,兩人身體須保持30公分以上,雙手插腰,慢速通過(guò),嚴(yán)禁奔跑。
4、降低微塵之方法是:保持頭、手、身上干凈。
5、于洗塵室內(nèi)洗塵時(shí),兩人身體前后須保持30公分以上。
6、穿著無(wú)塵衣之前需先扎好頭發(fā)然后戴上發(fā)罩。
7、人是潔凈室蕞大污染源。
8、著無(wú)塵衣之蕞后一個(gè)動(dòng)作是檢查服裝。
9、下列文具不是潔凈室專用:水性簽字筆、鉛筆、修正液、影印紙。
10、進(jìn)入潔凈區(qū)所有人員均不得食用任何東西(如:口香糖)
11、任何人不得把于工作無(wú)關(guān)、不能帶入潔凈室的物品放在無(wú)塵衣的袋子里。

無(wú)塵車間壓差控制方式及其系統(tǒng)的選擇應(yīng)與要求相適應(yīng)
當(dāng)前對(duì)工業(yè)無(wú)塵車間以及一般( )壓生物無(wú)塵車間而言,視要求采用定風(fēng)量控制及閉環(huán)控制系統(tǒng)。其閉環(huán)控制系統(tǒng)一般采用“直接壓力”控制。其HVAC系統(tǒng)的送、回風(fēng)機(jī)或單風(fēng)機(jī)的風(fēng)量匹配調(diào)節(jié)的措施為:
(1)對(duì)定風(fēng)量控制系統(tǒng),基本都采用手動(dòng)風(fēng)閥調(diào)節(jié)。
(2)對(duì)閉環(huán)控制系統(tǒng),一般亦采用手動(dòng)調(diào)節(jié),利用系統(tǒng)靜壓及風(fēng)機(jī)特性的自平衡而不設(shè)自動(dòng)風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置。
(3)風(fēng)量變化大以及要求高的,亦有采用以靜壓控制相應(yīng)風(fēng)閥進(jìn)行匹配聯(lián)動(dòng)的自動(dòng)調(diào)節(jié)或以流量追i蹤控制進(jìn)行風(fēng)量調(diào)節(jié)等,但一般采用不多。
相比之下,實(shí)驗(yàn)室、生物安全實(shí)驗(yàn)室等直流系統(tǒng)的負(fù)壓控制系統(tǒng),在當(dāng)前為節(jié)能需進(jìn)行變風(fēng)量控制時(shí),往往要求更較可靠、靈敏及快速響應(yīng)的控制系統(tǒng),如采用變風(fēng)量文丘里控制閥以及相應(yīng)的流量追i蹤與“直接壓力”控制相結(jié)合的集成系統(tǒng),以保安全。
