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              珠海鈣鈦礦蒸發鍍膜機供應咨詢客服「在線咨詢」

              發布時間:2020-07-23 16:10  

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              多源有機無機蒸發?系統鈣鈦礦蒸發鍍膜機供應

              多源有機無機蒸發系統

              想了解更多關于電阻熱蒸發鍍膜產品的相關資訊,請持續關注本公司。

              主要用途:

              用于納米級單層及多層金屬膜、 半導體膜等新材料的制備。廣泛應用 于大專院校的薄膜材料科研。

              系統組成:

              由真空室、蒸發源、樣品臺、 真空測量、膜厚測試、電控系統組成。

              技術指標:

              極限真空度5.0×10-5Pa,系統漏率:1×10-7PaL/S; 恢復真空時間:40分鐘可達6.6×10 Pa

              真空室:D形真空室,尺寸350× 380mm 

              樣品臺:尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品;

              電極:數量:4支水冷結構;直徑Φ20㎜

              樣品基片:,基片在鍍膜位置實現自轉。基片的溫度從室溫至600℃

              4套擋板系統:基片擋板與源擋板;靶擋板共有3套, 樣品擋板(1套)

              石英晶振膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999? 

              可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統。

                    歡迎撥打圖片上的熱線電話或關注沈陽鵬程真空技術有限責任公司!



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