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無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

無塵車間-潔凈廠房的竣工驗收，是在各分部單機試車，無生產(chǎn)負荷系統(tǒng)試車自檢合格后進行?？⒐を炇盏膬?nèi)容是對各分部工程的單機試車和無生產(chǎn)負荷系統(tǒng)試車的核查，潔凈室(區(qū))性能參數(shù)檢測和調(diào)試、各分部觀感質(zhì)量核查，按要求進行功能檢測和調(diào)試。

潔凈廠房竣工驗收時，應(yīng)認真檢查竣工驗收的資料，一般包括下列文件及記錄：

1 圖紙會審記錄、設(shè)計變更通知書和竣工圖;

2 各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進場檢驗報告;

3 各分部工程的單機設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗記錄;

4 各分部單機試運轉(zhuǎn)記錄;

5 各分部工程、系統(tǒng)無負荷試運轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄;

6 各類管線試驗、檢查記錄;

7 各分部工程的安全設(shè)施的檢驗和調(diào)試記錄;

8 各分部工程的質(zhì)量驗收記錄。

潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設(shè)計開始，到建筑、裝修，以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個核心。潔凈廠房保潔也離不開這個核心。潔凈廠房保潔技術(shù)潔凈廠房的建設(shè)雖然對塵埃控制有了很高的保障，但是，建筑裝修材料、設(shè)施設(shè)備、生產(chǎn)工藝、人員都會不同程度的發(fā)塵和塵埃積聚，尤其是10000級、100000級潔凈廠房(因建造成本限制)。

對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。