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發布時間:2021-01-19 05:01  
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光學微電子凈化工程解決方案:
4、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點
B、室內空氣參數要求 :
(1)溫濕度要求:溫度一般為24 2℃,相對濕度為55 5%。
(2)新風量大。由于這類車間內,人員比較多,可以根據以下數值應取下列的大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮
空氣量≥40m3/h。
(3)送風量大。為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數,是≥15次/h)。所有暴露在潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。
凈化工程中空氣凈化處理方案:
凈化空氣調節系統如需電加熱時,應選用管狀電加熱器,位置應布置在高1效空氣過濾器的上風側,并應有防火安全措施。
送風機可按凈化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇,中效、高1效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。
凈化工程中凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風機的系統外,應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。
凈化空氣調節系統設計應合理利用回風,凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求,或對其他工序有危害時,則不應用回風。