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不相容的氣體在制備中的事故回顧與分析，以下是所知道的近年來(lái)發(fā)生的事故： 1996-中國(guó)臺(tái)灣，N2O/H2， 人員受傷，1997-加拿大，CO/Ai；1997-英國(guó)，CH4/Air ， 人員受傷；1997-南美，CH4/Air， 壓力表炸毀；1997-美國(guó)，4% H2/Air，隱患事故；2003-德國(guó)，N2O/CO，人員受傷；液態(tài)氣體價(jià)格速遞，至3月9日，上海液氧價(jià)格3月內(nèi)漲150元/T至750元/T，液ya至1500元/T，液氮680元/T。2004-法國(guó)，鹵代烴/Air ，隱患事故；2007-中國(guó)蘭州，CH4/Air， 人員受傷。以上事故中，多數(shù)是配制空氣中的可燃?xì)怏w，這類(lèi)氣體大多用在化工廠、煤礦中環(huán)境氣體的檢測(cè)中，事故的原因或者是錯(cuò)誤的操作；或者是不相容的氣體同時(shí)接入一個(gè)系統(tǒng)中，由于閥門(mén)漏氣產(chǎn)生倒灌；或者是濃度計(jì)算錯(cuò)誤；或者是錯(cuò)誤的充裝順序造成的。對(duì)氣體混合氣的事故分析，人們往往重視氣體的毒性而忽略了其可燃性。空氣中可燃性氣體的制備經(jīng)常發(fā)生，因此制定嚴(yán)格的操作程序是非常重要的。

準(zhǔn)標(biāo)氣體潛在的危險(xiǎn)分析

1、標(biāo)識(shí)不清或沒(méi)有警示標(biāo)識(shí)， 1）標(biāo)準(zhǔn)氣體的氣瓶應(yīng)該和純氣一樣貼警示標(biāo)簽。關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)氣體可燃性或氧化性的計(jì)算目前國(guó)內(nèi)尚無(wú)標(biāo)準(zhǔn)遵循。ISO 10156為如何計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)氣體的可燃性和氧化性提供了可以遵循的方法。2）標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)和純氣一樣有成分和濃度標(biāo)簽。目前市場(chǎng)上大多數(shù)生產(chǎn)廠提供的標(biāo)準(zhǔn)氣體閥門(mén)出口螺紋沒(méi)有什么區(qū)別，全部采用右旋。3）不應(yīng)留有和氣體或濃度不符的標(biāo)簽，殘留的上次充裝的標(biāo)簽要清理干凈。

2、標(biāo)準(zhǔn)氣體的閥門(mén)出口螺紋應(yīng)遵循的規(guī)則， 標(biāo)準(zhǔn)氣體的閥門(mén)出口螺紋應(yīng)遵循：可燃標(biāo)準(zhǔn)氣體-左旋，不燃標(biāo)準(zhǔn)氣體-右旋；目前市場(chǎng)上大多數(shù)生產(chǎn)廠提供的標(biāo)準(zhǔn)氣體閥門(mén)出口螺紋沒(méi)有什么區(qū)別，全部采用右旋；標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)和純氣一樣，可燃標(biāo)準(zhǔn)氣體使用出口螺紋右旋的閥門(mén)，防止在生產(chǎn)過(guò)程中和客戶(hù)使用時(shí)錯(cuò)接；變壓吸附是指利用吸附劑對(duì)不同氣體的吸附容量隨壓力的不同而有差異的特性,在吸附劑選擇吸附的條件下,加壓吸附混合物中的雜質(zhì)(或產(chǎn)品)組分,減壓解吸這些雜質(zhì)(或產(chǎn)品),而使吸附劑得到再生,以達(dá)到連續(xù)制取所需產(chǎn)品氣體的目的。

3、氣體接近可燃限或充裝過(guò)程中經(jīng)過(guò)可燃區(qū)間，沒(méi)有濃度和壓力限制作為標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)廠家，不僅僅提供給客戶(hù)的終產(chǎn)品濃度在可燃下限以下，而且在充裝過(guò)程中也要確保操作人員的安全，對(duì)于在充裝過(guò)程中經(jīng)過(guò)可燃區(qū)間的標(biāo)準(zhǔn)氣體，應(yīng)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格計(jì)算控制充裝壓力和進(jìn)樣順序，制定嚴(yán)格的操作程序，操作者應(yīng)該接受培訓(xùn)，培訓(xùn)合格后才可充裝此類(lèi)氣體。氧是自然界中含量較多的元素，分布很廣，占地殼中各元素總量的47%，占水成分的89%，占地殼中巖石，抗物成分的46。

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對(duì)氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量的要求也越來(lái)越高。線寬下對(duì)超純氮?dú)獾囊螅?strong>高純氮?dú)?/strong>（PN2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。（N2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管或光亮退火（BA）低碳（316L）不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。它是一種五色無(wú)味的氣體，在空氣的含量為0．935％(按體積計(jì)算)，氬的沸點(diǎn)為－186℃，介于氧和氦的沸點(diǎn)之間。