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發(fā)布時(shí)間:2020-12-12 09:24  
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三維形貌測(cè)量系統(tǒng)
可用于物體表面三維形貌和變形測(cè)量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠(yuǎn)距離顯微成像鏡頭,也可配備普通變焦鏡頭,使得該系統(tǒng)能同時(shí)滿足細(xì)觀及宏觀的測(cè)量要求。不僅可用于微電子、生物、微機(jī)械等微細(xì)結(jié)構(gòu)的形貌及變形測(cè)量,也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測(cè)量。系統(tǒng)配有專用的相移條紋圖像處理軟件,使得系統(tǒng)測(cè)量精度明顯提高,并且使用方便、操作簡(jiǎn)單。
一、三維表面形貌儀測(cè)量原理:低相干白光同時(shí)照射樣品和參考平面,被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測(cè)器接收,由于探測(cè)器直接與信號(hào)處理芯片(Smart Pixel技術(shù))連接,所以陣列上每個(gè)像素點(diǎn)的信號(hào)都在芯片中完成鎖相放大,背景信號(hào)補(bǔ)償和結(jié)果計(jì)算輸出,成像于計(jì)算機(jī)就實(shí)現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測(cè)量。 二、三維表面形貌儀技術(shù)特點(diǎn): 1、每秒一百萬(wàn)張二維圖像 2、無(wú)損表面形貌檢測(cè)和分析 3、高精度在線/離線檢測(cè) 4、模塊化設(shè)計(jì),超高集成靈活性 5、無(wú)需苛刻的工作環(huán)境(振動(dòng),噪聲,溫度等) 6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域