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發布時間:2021-05-16 05:27  
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具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。
排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等,凈化車間設計時,要根據實際情況選擇。地面可采用環氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應選用凈化車間燈具。1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。

設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。現在國內的相關企業很多,所以凈化工程企業之間的競爭也很激烈,因為科技的發展使得市場對凈化工程的要求高了起來,從以前的價格競爭變成了現在的價值競爭。所以相關的凈化工程企業應該提高自身的自主研發能力,不斷的發展創新,才能適應這個競爭激烈的市場。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
