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發(fā)布時(shí)間：2021-05-10 05:54
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派瑞林沉積過程是將二環(huán)二聚體加熱氣化后再經(jīng)高溫裂解成游離的氣相分子，并在真空、室溫條件下瞬間吸附在基板上聚合成膜，形成氣密性很好的保護(hù)膜。由于涂料中不含溶劑，所以克服了以往使用的溶劑型涂料在烘干過程中因溶劑揮發(fā)而必然會(huì)留下許多細(xì)微的缺點(diǎn)，可以提供真正的無的保護(hù)膜。
派瑞林涂膜是采用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備，是由活性小分子在基材表面“生長(zhǎng)”出的敷形的聚合物薄膜涂層。由于是在真空條件下形成的，所以該工藝的的較大特點(diǎn)是“無孔不入”，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊、裂縫和內(nèi)表面。
真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件（金屬、半導(dǎo)體或絕緣體）表面而形成薄膜的一種方法。例如，真空鍍鋁、真空鍍鉻等。Parylene HT（SCS）該材料具有更低的介電常數(shù)(即透波性能好)、好的穩(wěn)固性和防水、防霉、防鹽霧性能.短期耐溫可達(dá)450攝氏度,長(zhǎng)期耐溫可達(dá)350攝氏度,并具有強(qiáng)的抗紫外線能力.更適合作為高頻微波器件的防護(hù)材料。
Parylene真空鍍膜以其良好的耐腐蝕、耐，、 低阻滯性、低摩擦系數(shù)及生物相容性，在國(guó)際臨床運(yùn)用的生物的表面涂層上，將逐步取代TiNi（鎳鈦）合金涂層而被列為*材料。如骨釘、探針、針頭、臨時(shí)手術(shù)器械、導(dǎo)尿管、制動(dòng)器及耳蝸植入器，心臟起搏器、腦電極、植入式傳感器、射頻、血液分析傳感器和高頻手術(shù)刀等微型電子。
由于PVD涂層能提供更好的邊緣保持力，防止氧化和腐蝕，在切削過程中保持清晰，不會(huì)與骨骼、組織或體液發(fā)生反應(yīng)，故而，越來越多都用于，例如鋒利的手術(shù)器械、針頭、鉆頭、、各種裝置組件以及應(yīng)用的“磨損”部件。PVD功能性硬涂層(如DLC，TIN)已廣泛應(yīng)用在不銹鋼零部件上，作用是可減少摩損和延長(zhǎng)零部件壽命，但因?yàn)橥繉颖旧碛腥毕莺停允褂迷谝恍?nbsp; 耐腐蝕要求高的環(huán)境下，效果不佳。PVD功能膜配合納米透明膜是目前更理想的解決方案：PVD涂層提供耐磨性，納米透明膜提供耐腐蝕性。
PVD工藝一般只是直線沉積，對(duì)形狀復(fù)雜，縱橫比高或有深孔的工件是難以得到均勻的厚度。納米透明膜可解決這問題，無論形狀多復(fù)雜，每個(gè)位置的膜厚都是一致的，沒有大偏差。
原子層沉積是在一個(gè)加熱反應(yīng)器中的襯底上連續(xù)引入至少兩種氣相前驅(qū)體物種，化學(xué)吸附的過程直至表面飽和時(shí)就自動(dòng)終止，適當(dāng)?shù)倪^程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉積的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金屬，碳化物，復(fù)合結(jié)構(gòu)，硫化物，納米薄層等。 中空納米管，隧道勢(shì)壘層，光電電池性能的提高，納米孔道尺寸的控制，高高寬比納米圖形，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的反靜態(tài)阻力涂層和疏水涂層的種子層，納米晶體，ZnSe涂層，納米結(jié)構(gòu)，中空納米碗，存儲(chǔ)硅點(diǎn)涂層，納米顆粒的涂層，納米孔內(nèi)部的涂層，納米線的涂層。
