天津化妝品廠設計費用點擊了解更多「華一凈化」

半導體凈化車間設計的設計范圍

半導體凈化車間設計的設計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調設備、風管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調設備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理辦法

現今社會，無塵凈化車間的裝修被很多生產型企業所重視，無塵凈化車間不僅能對產品的精度、質量、穩定性及成功率等都有顯著的作用，同時還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術。對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理辦法。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其他的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉輪后再吸附或焚燒。

潔凈室建筑之外單獨建立機房

在潔凈室建筑之外單獨建立機房，但其離潔凈室很近。機房要注意隔振、隔音問題，地面應全部做防水處理，并有排水措施。隔振：應在振源的風機、電機、水泵等的支架、底座作防振處理，甚至有必要的話將設備安在混凝土板塊上，再用防振材料支撐該板塊，該板塊的重量應為設備總重量的2～3倍，。隔聲：除去系統上安裝消聲器外，大型機房可考慮在墻壁上貼附有一定吸聲性能的材料，要裝隔聲門，切忌在與潔凈區的隔墻上開門。