高純供氣系統價格常用解決方案

氣體管路控制系統作用

主要由氣源切換系統、管道系統、調壓系統、用氣點、監控及報警系統組成。對于一些易1燃易1爆氣體，如氫氣等，可能在設計和施工過程中稍有差異，必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。

閥門是在流體系統中，用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置，是使配管和設備內的介質(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。閥門是管路流體輸送系統中控制部件，用來改變通路斷面和介質流動

方向，具有導流、截止、節流、止回、分流或溢流卸壓等功能。

氣體管路控制系統可以用于管理控制氣體供應，包括流量，壓力，開關等，同時帶有泄漏報警1燈功能，能夠有效保護用氣安全。

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電子特氣管道系統氦檢漏方法

特氣系統氣體管道氦檢漏的順序宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內向檢漏法(噴氦法)采用管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣，外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

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氦質譜檢漏儀

隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢漏儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢漏儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業，綜觀1新氦質譜檢漏儀的性能特點發現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大地1推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。試驗室集中供氣系統的優點針對過去使用中存在的問題，現代試驗室對載氣的使用環境進行了改革，即“集中供氣系統”，即將使用氣體（以下簡稱載氣）集中貯存，然后通過壓差的原理將氣體經過金屬或其他材質管路送至用氣點。

高純氣體的輸送管路系統

隨著微電子工業的發展，超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統提出了非常高的要求 。實驗室供氣系統氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調節閥等部分組成，輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。