等離子化學氣相沉積設備價格服務介紹【沈陽鵬程】

化學氣相沉積的應用

現代科學和技術需要使用大量功能各異的無機新材料，這些功能材料必須是高純的，或者是在高純材料中有意地摻入某種雜質形成的摻雜材料。但是，我們過去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結晶等往往難以滿足這些要求，也難以保證得到高純度的產品。因此，無機新材料的合成就成為現代材料科學中的主要課題。已經開發出許多終點檢測技術，終點檢測設備就是為實現刻蝕過程的實時監控而設計的。

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化學氣相沉積的原理

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化學氣相沉積技術是應用氣態物質在固體上產生化學反應和傳輸反應等并產生固態沉積物的一種工藝，它大致包含三步：

（1）形成揮發性物質 ；

（2）把上述物質轉移至沉積區域 ；

（3）在固體上產生化學反應并產生固態物質 。基本的化學氣相沉積反應包括熱分解反應、化學合成反應以及化學傳輸反應等集中。