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發布時間:2021-06-23 04:17  
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氦質譜檢漏儀的構成
氦質譜儀電氣部分的核心是質譜室的供電和測量,其他部分包括真空系統的電源與控制部分,操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發生器、高壓整流器及發射電流穩定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規電源。在氦質譜儀檢漏技術中,根據被檢件的結構,尺寸要求和具體的檢漏條件,設置具有預抽被檢件、保證檢漏儀工作真空度、氣體分流、縮短反應時間和清除時間、降低對靈敏度的不良影響等功能的輔助真空系統,在某些條件下是非常必要的。
氦質譜檢漏儀的結構
氦質譜檢漏儀離子源的作用是使氣體分子電離,形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲(陰級)、離化室及離子加速極組成。
燈絲在真空中通電加熱后發射電子,在離化室與燈絲之間的電場作用下,電子加速穿過離化室頂部狹縫進入離化室,在離化室中與氣體分子發生多次碰撞后損失能量,Z后打到離化室上形成電子流,成為發射電流的一部分。電子在運動的過程中碰撞氣體分子而使氣體分子電離形成正離子,正離子在離化室與加速極之間的電壓U(即離子加速電原)作用下,相繼穿過離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫,由于加速電場對離子做的功轉變為離子的動能,便形成具有一定能量的離子束。
氦質譜檢漏儀的優勢
科技信息化不斷更新迭代的市場,氦質譜檢漏儀的應用技術也在不斷發展和完善。一方面過去的氦質譜檢漏儀不能滿足現階段的一個需求,而且對檢漏儀提出新要求的情況下,檢漏儀設備不得不更新,另一方面每個行業的不足都在進步的過程,缺陷與不足相互補充,相互促進。而現在的氦質譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形,在性能和領域上都有新的突破。
氦質譜檢漏儀進展集中體現如下方面:
1.智能化:以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助,而現在的觸屏式,自動檢測。
2.便捷化:這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業提供小巧而靈敏性高的設備。
3.自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節0點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。