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往復真空泵由于采用自潤滑材料的活塞環、密封環，氣缸內無須加油潤滑;在氣缸與機體之間加設隔油腔(其長度大于一個行程長度)，阻止機體內潤滑油沿活塞桿漏人氣缸，所以該泵對被抽系統無污染。無油往復真空泵有立式和臥式兩種結構。

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旋片真空泵的泵溫太高。指低級排氣閥左近測得的高油溫超越運用闡明書規則值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅降落，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率降落；使橡膠件容易老化；山東博山真空泵廠有限公司（原山東博山真空泵廠）是專業生產真空泵及真空機組的骨干企業。熱收縮使運轉間隙減少，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內孔間隙，影響泵運轉的牢靠性。泵溫太高的緣由能夠是泵環境溫度太高，進氣溫度太高，進氣冷卻安裝失效，泵長期連續運轉入口壓力太高；水冷泵冷卻水量缺乏，循環水設計效果不佳；溫控水量調理閥失效等。

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外漏較多時，排氣口可看到白色蒸汽。而且油標處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力。低級排氣閥處油面有較多氣泡。功率會有所增加。這時，首先應檢查氣鎮閥能否已關好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力，所以如有外漏現象，應對泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可形成外漏。內漏可由泵內的運動間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內軸封、泵蓋平面、進氣管、氣鎮閥密封件等惹起。接下來，對于它的油濾芯來講，就其在很大的程度上其實也就是會用在進口真空泵的潤滑油進行過濾，這樣一來，就其在一定的程度上其實也就是會直接的就延長了油本身的使用期主流式濾清器，安裝在了油路當中。磨損、腐蝕、咬合會使運轉間隙加大。油孔阻塞時，翻開加油孔聽，泵的噪聲會較輕，在油箱密封良好的狀況下，假如手在排氣口上有被吸的覺得，排氣閥可能失效。