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管路設計要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高。通常較合理的設計流速為20ml/s，可燃氣體小于10ml/s，獨行/腐蝕性氣體小于8ml/s，在用量設計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關，后者使用點的管徑一般為1/4～3/8。

根據用氣設備的分布，高純氣體的網不宜過大或者過長。宜采用不封閉的環形管路，在系統末端連續不斷排放少量的氣體，以便在管網中總有高純氣體流通，不會發生“死空間”引起高純氣體的污染。

管路中應減少不流動氣體的“死空間”，不應設有盲管。

管道的選擇

1、選外部光亮內部潔凈的不銹鋼管，其次是銅管（缺點是易氧化）和塑料管。

室外部分避免用塑料管，因為塑料管容易老化、開裂和受到環境等的破壞。

2、室內部分應盡量采用不銹鋼管，特殊需要的可用聚四氟管或聚乙烯管。

3、為了排除不必要的隱患及管路故障應減少可能的漏氣點，建議采用超長型的不銹鋼軟管，這種管路容易盤曲改向，有時為了施工的方便和設計的需要可在管路中設置一些二通、三通等接頭。