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              真空鍍膜系統(tǒng)公司信息推薦【艾明坷】

              發(fā)布時(shí)間:2020-12-31 09:31  

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              CT系列鍍膜機(jī)

              CT(Custamued workstation)系列鍍膜機(jī)系我司非標(biāo)定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨(dú)設(shè)計(jì),滿(mǎn)足您的特殊需要。

              特點(diǎn):1、按需開(kāi)發(fā),量身定制。

              2、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。

              3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選

              4、可集成手套箱系統(tǒng)

              5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用

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              蒸發(fā)鍍膜

              一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。厚度均勻性主要取決于:

              1、基片材料與靶材的晶格匹配程度

              2、基片表面溫度

              3、蒸發(fā)功率,速率

              4. 真空度

              5. 鍍膜時(shí)間,厚度大小

              組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對(duì)于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

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              真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇

              真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

              了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆粒灰塵,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。

              真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

              真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。

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