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發布時間：2020-11-01 10:54
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PR1-1000A1NR9 3000PY光刻膠公司NR9 3000PY光刻膠公司
5,顯影液
在已經曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液，或將其浸泡在顯影液中，正膠是曝光區、而負膠是非曝光區的膠膜溶入顯影液，膠膜中的潛影顯現出來，形成三維圖像。
顯影完成后通常進行工藝線的顯影檢驗，通常是在顯微鏡下觀察顯影效果，顯影是否徹底、光刻膠圖形是否完好。
影響顯影的效果主要因素：
1，曝光時間，2前烘溫度和時間，3光刻膠膜厚，4顯影液濃度溫度，5顯影液的攪動情況。
NR77-15000PYNR9 3000PY光刻膠公司NR9 3000PY光刻膠公司
光刻膠穩定性
化學穩定性：在正常儲存和操作條件下，在密閉容器中室溫穩定。
避免的條件: 火源、濕氣、過熱的環境。
不相容的其他材料: 強氧化劑。
光刻膠毒理資料
淡黃色液體，氣味微弱。引起皮膚、眼睛、粘膜和呼吸道的刺激。可以通過皮膚吸收而引起全身性的癥狀。液體是可燃的。
毒性數據
皮膚：可以通過皮膚吸收而引起全身性的癥狀，類似于吸入。長時間或重復接觸可引起輕度至中度的刺激或皮炎。
眼睛：引起眼睛發炎。
吸入：吸入時可能有害。引起呼吸道刺激。蒸氣可能導致困倦和頭暈。
攝食：吞食有害。
延遲效應：肝和損害，以及動物實驗中有報道血液和GU髓有影響。
NR77-20000P
正膠PR1-2000A1技術資料
正膠PR1-2000A1是為曝光波長為365 或者436納米，可用于晶圓步進器、掃描投影對準器、近程打印機和接觸式打印機等工具。PR1-2000A1可以滿足對附著能力較高的要求，在使用PR1-2000A1時一般不需要增粘劑，如HMDS。
相對于其他的光刻膠，PR1-2000A1有如下的一些額外的優勢：
PEB，不需要后烘的步驟；
較高的分別率；
快速顯影；
較強的線寬控制；
蝕刻后去膠效果好；
在室溫下有效期長達2年。
