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流量控制器的性能參數

流量控制器的特點是：當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差

工作壓差范圍指的是當流量控制器進口、出口壓差變化在多大范圍時，能保持通過流量控制器的流量恒定不變。行業(yè)標準中規(guī)定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類產品工作壓差范圍達到0.03－0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設計。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。

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流量控制器

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱答元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質量有關，由此測量流專量。

使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質量流量控制器的低壓降產品?

部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源, 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質量流量控制器。通常可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時, 不能讓汽化物在MFC中結露, 結露會影響MFC的正常工作。為了防止結露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產品。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。