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              香港有機(jī)無(wú)機(jī)聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜機(jī)批發(fā)常用解決方案「在線咨詢」

              發(fā)布時(shí)間:2020-08-23 14:39  

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              ZF500有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)

              廣泛應(yīng)用于高校材料、物理、化學(xué)、電子、能源等相關(guān)學(xué)科以及科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等,半導(dǎo)體、有機(jī)EL、OLED顯示研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域。

              系統(tǒng)組成:

              主要由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺(tái)、 真空抽氣及測(cè)量、膜厚測(cè)試 、電控系統(tǒng)組成。

              技術(shù)指標(biāo):

              極限真空度4×10-5Pa,系統(tǒng)漏率:1.2×10-7PaL/S; 恢復(fù)真空時(shí)間:40分鐘可達(dá)6.0×10 Pa-4

              真空室:D形真空室,尺寸350× 400mm

              樣品臺(tái):尺寸為4英寸4平面樣品;

              有機(jī)束源爐:數(shù)量:4支,標(biāo)準(zhǔn)型600度控溫;

              樣品架:安裝加熱爐。基片的溫度從室溫至600℃(硅片上表面的溫度,只需標(biāo)定一次即可)

              4套擋板系統(tǒng):動(dòng)密封手動(dòng)控制;

              樣品擋板(1套),磁力撥叉,

              膜厚控制儀:膜厚測(cè)量范圍0-999999? 

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              鈣鈦礦鍍膜機(jī)的特點(diǎn)有哪些?

              1、樣品位于真空室上方,蒸發(fā)源位于真空室下方,向上蒸發(fā)鍍膜,且蒸發(fā)源帶有擋板裝置。

              2、設(shè)有烘烤加熱功能,可在鍍膜過(guò)程中加熱樣品,烘烤加熱溫度為≤180℃。

              3、設(shè)有斷水、斷電連鎖保護(hù)報(bào)警裝置及防誤操作保護(hù)報(bào)警裝置。

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