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發(fā)布時(shí)間：2021-03-05 09:13
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光刻膠介紹
光刻膠介紹
光刻膠是一種對(duì)光線、溫度、濕度十分敏感的材料，可以在光照后發(fā)生化學(xué)性質(zhì)的改變，這是整個(gè)工藝的基礎(chǔ)。
光刻膠有不同的類(lèi)型，PMMA（PMGI）以及DNQ（酚醛樹(shù)脂）等材料都可以做光刻膠。
目前光刻膠市場(chǎng)上的參與者多是來(lái)自于美國(guó)、日本、韓國(guó)等國(guó)家，包括 FUTURREX、陶氏化學(xué)、杜邦、富士膠片、信越化學(xué)、住友化學(xué)、LG化學(xué)等等，中國(guó)公司在光刻膠領(lǐng)域也缺少核心技術(shù)。
光刻工藝主要性一
光刻膠不僅具有純度要求高、工藝復(fù)雜等特征，還需要相應(yīng)光刻機(jī)與之配對(duì)調(diào)試。一般情況下，一個(gè)芯片在制造過(guò)程中需要進(jìn)行10~50道光刻過(guò)程，由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等，不同的光刻過(guò)程對(duì)光刻膠的具體要求也不一樣，即使類(lèi)似的光刻過(guò)程，不同的廠商也會(huì)有不同的要求。近些年來(lái)，全球半導(dǎo)體廠商在中國(guó)大陸投設(shè)多家工廠，如臺(tái)積電南京廠、聯(lián)電廈門(mén)廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。
針對(duì)不同應(yīng)用需求，光刻膠的品種非常多，這些差異主要通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方來(lái)實(shí)現(xiàn)。因此，通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方，滿足差異化的應(yīng)用需求，是光刻膠制造商核心的技術(shù)。
此外，由于光刻加工分辨率直接關(guān)系到芯片特征尺寸大小，而光刻膠的性能關(guān)系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效應(yīng)。光刻分辨率與曝光波長(zhǎng)、數(shù)值孔徑和工藝系數(shù)相關(guān)。
NR9-3000PY
11．請(qǐng)教~有沒(méi)有同時(shí)可以滿足RIE
process 和Lift-off
process的光阻，謝謝！
A 我們推薦使用Futurrex
NR1-300PY來(lái)滿足以上工藝的需求。
12．Futurre光刻膠里，有比較容易去除的負(fù)光阻嗎？
A NR9-系列很容易去除，可以滿足去膠需要。
13．我們目前用干膜做窄板，解析度不夠，希望找到好的替代光阻？
A NR9-8000因?yàn)橛泻芨叩腁R比例，適合取代，在凸塊的應(yīng)用上也有很大的好處。
14．傳統(tǒng)的Color
filter 制程，每個(gè)顏色的烘烤時(shí)間要2-3個(gè)小時(shí)，有沒(méi)有更快的方法制作Coior
filter?
A 用于Silylation制程------烘烤時(shí)間只需要2分鐘，同時(shí)光阻不需要Reflow, 顏色也不會(huì)老化改變，只需要在Filter上面加熱溶解PR1-2000S光阻，Microlenses就能形成！
15．請(qǐng)問(wèn)有專(zhuān)門(mén)為平坦化提供材料的公司嗎？
A 美國(guó)Futurrex公司，專(zhuān)門(mén)生產(chǎn)應(yīng)用化學(xué)品的，可以為平坦化的材料提供PC3-6000和PC4-1000都是為平坦化用途設(shè)計(jì)，臺(tái)灣企業(yè)用的比較多。
16．我需要一種可用于鋼板印刷的方式來(lái)涂布PROTECTIVE
COATING，那種適合？？
A 推薦美國(guó)Futurrex，PC4-10000。
17．臘是用來(lái)固定芯片的，但很難清洗干凈，哪里有可以替代的產(chǎn)品介紹下，謝謝？
A 我們公司是使用Futurrex
PC3-6000,可以替代的，而且去除比較容易，你可以試用下。
18．請(qǐng)問(wèn)有沒(méi)有100微米厚襯底為鍍鎳硅并可用與MEMS應(yīng)用的光刻膠嗎？
A NR4-8000P可以做到140微米的厚度，并在鍍鎳的襯底上不會(huì)出現(xiàn)難去膠的問(wèn)題，如果是其他非鍍鎳襯底NR9-8000P是適合的選擇。
19．誰(shuí)有用在光波導(dǎo)圖案的光刻膠？是否可以形成角度為30度的側(cè)壁？
A 你必須實(shí)現(xiàn)通過(guò)逐步透光來(lái)實(shí)現(xiàn)掩膜圖案棱的印刷，NR4-8000P是專(zhuān)門(mén)為光波導(dǎo)圖案應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。
NR9-250P
20．有沒(méi)有光刻膠PC3-6000的資料嗎？
A PC3-6000并不是光刻膠，它是用在chip
on glass 上的膠粘劑。
21．是否有Wax替代品？
A PC3-6000可替代Wax做晶片和玻璃的固定，比較容易去除掉。
22．貴公司是否有粘接硅襯底和襯底的材料？
A 有，IC1-200就是
23．請(qǐng)問(wèn)是否有不用HMDS步驟的正性光刻膠？
A 美國(guó)Futurrex 整個(gè)系列的光刻膠都不需要HMDS步驟，都可以簡(jiǎn)化。
24．一般電話咨詢光刻膠，我們應(yīng)該向客戶咨詢哪些資料？
A 1 需要知道要涂在什么材質(zhì)上，2
還有要知道需要做的膜厚，3
還要知道光刻膠的分辨率
4還有需要正膠還是負(fù)膠，5
需要國(guó)產(chǎn)還是進(jìn)口的
27．想找一款膜厚在120um，的光刻膠，有什么光刻膠可以做到啊！
A 以前有使用過(guò)美國(guó)有款光刻膠可以達(dá)到Futurrex
NR21-20000P ，。
28．有沒(méi)有了解一款美國(guó)Futurrex
NR9-250P的光刻膠，請(qǐng)教下？
A 這是一款負(fù)性光刻膠，濕法蝕刻使用的，附著力很好，耐100度的溫度，國(guó)內(nèi)也有可以代理的公司，F(xiàn)uturre
光刻膠是世界第4大的電子化學(xué)品制造商，在光刻膠的領(lǐng)域有著不錯(cuò)的聲譽(yù)，在太陽(yáng)能光伏，和LED半導(dǎo)體行業(yè)都有不錯(cuò)的市場(chǎng)占有率。
29．想找款膜厚的產(chǎn)品，進(jìn)行蝕刻，有什么好推薦？
A 厚膜應(yīng)用（thick
film applicati），主要是指高縱橫比（Aspect
ratios）,高分辨率，高反差，有幾款產(chǎn)品向你推薦一下《NR4-8000P，NR2-20000P，NR5-8000，這些產(chǎn)品都需要用到邊膠清洗液》
的光刻
