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              發(fā)布時(shí)間:2021-01-13 14:38  

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              PLD450型脈沖激光鍍膜介紹

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              技術(shù)指標(biāo):

              極限真空度:≤6.7×10 Pa  

              恢復(fù)真空時(shí)間:從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min  

              系統(tǒng)漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;  

              真空室:Ф450球型真空室 ,  

              基片尺寸:可放置4″可實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)換靶位描等基片加熱可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5-60轉(zhuǎn)/分基片與蒸發(fā)源之間距離300-350mm可調(diào)。  

              二維掃描機(jī)械平臺(tái),執(zhí)行兩自由度掃描,控制的內(nèi)容主要有公轉(zhuǎn)換靶、靶自轉(zhuǎn)、樣品自轉(zhuǎn)、樣品控溫、激光束掃,

              質(zhì)量流量控制器1路  

              烘烤溫度:150℃數(shù)顯自動(dòng)熱偶控溫(高溫爐盤,數(shù)顯自動(dòng)熱偶控溫可加熱到800℃)



              脈沖激光沉積系統(tǒng)特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

              可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術(shù)支持;靶臺(tái)可以安裝6個(gè)靶位,靶材更換靈活;樣品臺(tái)樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進(jìn)樣室可以存儲(chǔ)多個(gè)靶和樣品;交易過(guò)程無(wú)需繁瑣的進(jìn)、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性價(jià)比高;

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              常規(guī)沉積條件下的組合合成

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              沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司擁有先進(jìn)的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽(yù)高,我們竭誠(chéng)歡迎廣大的顧客來(lái)公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對(duì)脈沖激光沉積感興趣,歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。



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