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發布時間:2020-12-28 14:20  
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氦質譜檢漏儀的主要配置
科儀創新產品主要有:薄膜制備設備,真空冶金設備,檢漏設備,真空系統等非標真空產品;檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統越龐大,該間隔時間也越長。系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設備;超高真空環境模擬設備等高新技術產品。今天科儀創新的小編就和大家分享一下氦質譜檢漏儀的主要配置有哪些,希望對您有所幫助!
1. 檢漏儀專用分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀專用電磁閥
4. 內置標準漏口
5. 放大器
6. 采用質譜專用模塊
以上是科儀創新為您一起分享的內容,科儀創新專業生產氦檢漏,歡迎新老客戶蒞臨。
氦質譜檢漏原理
氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器,用于檢漏的一種檢測技術,它的檢漏靈敏度可達10-14~10-15Pa?m3/s,可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。氦質譜檢漏常見問題氦質譜檢漏儀是現在比較常用的檢測儀器,那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢。質譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機械泵之間,利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點,氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。檢漏儀在質譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場,在洛倫茲力作用下發生偏轉,由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性,偏轉半徑各不相同,在擋板的作用下,氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號,這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數量,電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點的漏率,通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。
氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優良特性:
①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環境中的含量超過標準,可以比較容易地探測到極微量的氦氣;
②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除;
③氦離子荷質比小,易于進行質譜分析;
④氦氣是惰性氣體,化學性質穩定,不會腐蝕和損傷任何設備;
⑤氦氣無毒,不凝結,極難容于水。
今天科儀創新小編和大家分享的是氦質譜檢漏的工作原理,希望對您有所幫助!
氦氣檢漏儀的工作原理是什么?
主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同;在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上,收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。