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發布時間：2021-06-01 09:59
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每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔凈區為2～3天，其他區域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
無塵室的優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
無塵室的缺點：亂流造成的微塵粒子于室內 空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產品。另外若系統停止運轉再重啟，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。廠址應設在自然環境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產、節能的區域,應遠離大量散發粉塵、煙霧、有害氣體和微生物的區域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。 單流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室，由于微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要，因此多只需要測量風量。
簡易無塵室是一種可提供局部高潔凈環境的空氣凈化設備。簡易無塵室主要由箱體、風機、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。
產品配制
1.框架：以工業鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通噴塑）作為框架穩固、美觀、不生銹、不產塵；
2.防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化；
3.風機濾網機組FFU：，采用離心風機，內部凈化級別可達100-100K級；
4.內部采用凈化室凈化燈，不產塵；
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無塵潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。無塵室（無塵廠房）主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。
