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發(fā)布時間:2021-04-17 16:12  
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湖北豐熱科技有限公司(原武漢離子熱處理研究所),專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術企業(yè);是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐,并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術服務。
低壓氣體放電的一種類型,在發(fā)射光譜分析中用作氣體分析和難激發(fā)元素分析的激發(fā)光源。在玻璃管兩端各接一平板電極,充入惰性氣體,加數(shù)百伏直流電壓,管內便產(chǎn)生輝光放電,其電流為10-4~10-2A。放電形式與氣體性質、壓力、放電管尺寸、電極材料、形狀和距離有關。離子滲氮爐包括爐體、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、測溫系統(tǒng)及控制系統(tǒng)所組成。
用于磁控濺射鍍膜氣體放電的交流電源主要有雙極性脈沖(矩形波或正弦波)中頻靶電源與射頻靶電源兩大類別。?雙極脈沖中頻靶電源用于輝光放電?。矩形波或正弦波中頻靶電源進行1氣體輝光放電有很多共同特點
1992年,Roth小組在5mm氦氣間隙實現(xiàn)了APGD,并聲稱在幾個毫米的空氣間隙中也實現(xiàn)了APGD, 主要的實驗條件為濕度低于15% 、氣體流速50l/min、頻率為3kHz的電源并且和負載阻抗匹配。他們認為“離子捕獲”是實現(xiàn)APGD的關鍵。低壓氣體中顯示輝光的氣體放電(空氣中的電子大概在1000對/cm3,由于高壓放電現(xiàn)象在低氣壓狀態(tài)下會產(chǎn)生輝光現(xiàn)象)現(xiàn)象。
輝光放電的主要應用是利用其發(fā)光效應(如霓虹燈、日光燈)以及正常輝光放電的穩(wěn)壓效應。 利用輝光放電的正柱區(qū)產(chǎn)生激光的特性,制做氦乃激光器。近年來,輝光放電在污水處理、滅菌消毒、聚合物材料表面改性、分析儀器離子源等方面也多有應用。